[实用新型]一种真空电子器件真空除气设备有效
| 申请号： | 201721103139.4 | 申请日： | 2017-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN207250450U | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | 刘春华;蔡小华 | 申请（专利权）人： | 江西景光电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/385 | 分类号： | H01J9/385;H01J9/39 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 333405*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空电子器件真空除气设备，包括支撑架和机械泵；所述支撑架上方设有电子管，电子管底部连接有可伐，可伐与电子管连通；所述可伐连通有陶瓷管，陶瓷管底部连通有可伐；所述可伐底部通过管道与超高真空阀连通，超高真空阀连通有冷阱；所述冷阱连通有扩散泵，扩散泵连通有机械泵。本实用新型通过设有真空烘烤罩，对电子管进行高效的双真空排气，排气效率更高，效果更好，同时使用真空烘干的方式，减少热量散失，节约能源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 电子器件 设备 | ||
【主权项】：
一种真空电子器件真空除气设备，包括支撑架(1)和机械泵(8)；其特征在于，所述支撑架(1)上方设有电子管(2)，电子管(2)底部连接有可伐(3)，可伐(3)与电子管(2)连通；所述可伐(3)连通有陶瓷管(4)，陶瓷管(4)底部连通有可伐(3)；所述可伐(3)底部通过管道与超高真空阀(5)连通，超高真空阀(5)连通有冷阱(6)；所述冷阱(6)连通有扩散泵(7)，扩散泵(7)连通有机械泵(8)；所述电子管(2)上方设有真空罩(9)，真空罩(9)内壁上固定连接有螺旋状的加热丝(10)；所述真空罩(9)下方设有真空密封槽(20)；所述真空罩(9)连通有波纹管(11)，波纹管(11)与冷阱(6)连通，波纹管(11)设有电磁气阀(12)；所述真空罩(9)顶部固定连接有移动板(13)，移动板(13)滑动连接有支撑侧板(19)；所述移动板(13)顶部铰接有对称的连接杆(14)，连接杆(14)铰接有对称的滑块(15)，滑块(15)滑动连接有横板(16)；所述对称的滑块(15)螺纹连接有转轴(17)；所述转轴(17)通过轴承与支撑侧板(19)转动连接，转轴(17)右侧固定连接有驱动电机(18)。
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