[实用新型]一种真空电子器件真空除气设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空电子器件领域，具体是一种真空电子器件真空除气设备。

背景技术

真空电子器件指借助电子在真空或者气体中与电磁场发生相互作用，将一种形式电磁能量转换为另一种形式电磁能量的器件。具有真空密封管壳和若干电极，管内抽成真空，残余气体压力为10-4～10-8帕。有些在抽出管内气体后，再充入所需成分和压强的气体。广泛用于广播、通信、电视、雷达、导航、自动控制、电子对抗、计算机终端显示、医学诊断治疗等领域。

在电子管的生产过程中，传统真空电子管排气台结构复杂，耗能高，操作繁琐，排气的效率不高，生产耗费的时间长。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空电子器件真空除气设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种真空电子器件真空除气设备，包括支撑架和机械泵；所述支撑架上方设有电子管，电子管底部连接有可伐，可伐与电子管连通；所述可伐连通有陶瓷管，陶瓷管底部连通有可伐；所述可伐底部通过管道与超高真空阀连通，超高真空阀连通有冷阱；所述冷阱连通有扩散泵，扩散泵连通有机械泵；所述电子管上方设有真空罩，真空罩内壁上固定连接有螺旋状的加热丝；所述真空罩下方设有真空密封槽；所述真空罩连通有波纹管，波纹管与冷阱连通，波纹管设有电磁气阀；所述真空罩顶部固定连接有移动板，移动板滑动连接有支撑侧板；所述移动板顶部铰接有对称的连接杆，连接杆铰接有对称的滑块，滑块滑动连接有横板；所述对称的滑块螺纹连接有转轴；所述转轴通过轴承与支撑侧板转动连接，转轴右侧固定连接有驱动电机。

作为本实用新型进一步的方案：所述可伐与支撑架固定连接。

作为本实用新型进一步的方案：所述支撑侧板与支撑架固定连接。

作为本实用新型进一步的方案：所述横板与支撑侧板固定连接。

作为本实用新型进一步的方案：所述转轴左、右两部分设有反向的螺纹。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过设有真空烘烤罩，对电子管进行高效的双真空排气，排气效率更高，效果更好，同时使用真空烘干的方式，减少热量散失，节约能源。

附图说明

图1为真空电子器件真空除气设备的剖视图；

图2为真空电子器件真空除气设备中可伐的连接示意图。

图中：1-支撑架；2-电子管；3-可伐；4-陶瓷管；5-超高真空阀；6-冷阱；7-扩散泵；8-机械泵；9-真空罩；10-加热丝；11-波纹管；12-电磁气阀；13-移动板；14-连接杆；15-滑块；16-横板；17-转轴；18-驱动电机；19-支撑侧板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1～2，本实用新型实施例中，一种真空电子器件真空除气设备，包括支撑架1和机械泵8；所述支撑架1上方设有电子管2，电子管2底部连接有可伐3，可伐3对电子管3进行固定，可伐3与电子管2连通；所述可伐3连通有陶瓷管4，陶瓷管4底部连通有可伐3，可伐3与支撑架1固定连接有；所述可伐3底部通过管道与超高真空阀5连通，超高真空阀5连通有冷阱6；所述冷阱6连通有扩散泵7，扩散泵7与支撑架1固定连接；所述扩散泵7连通有机械泵8，机械泵8与支撑架1固定连接；机械泵8和扩散泵7配合进行抽真空；所述电子管2上方设有真空罩9，真空罩9内壁上固定连接有螺旋状的加热丝10，加热丝10与外部电源电性连接，加热丝10对电子管2进行烘干除气；所述真空罩9下方设有真空密封槽20，真空密封槽20与支撑架1固定连接；所述真空罩9连通有波纹管11，波纹管11与冷阱6连通，波纹管11设有电磁气阀12；所述真空罩9顶部固定连接有移动板13，移动板13滑动连接有支撑侧板19，支撑侧板19与支撑架1固定连接；所述移动板13顶部铰接有对称的连接杆14，连接杆14铰接有对称的滑块15，滑块15滑动连接有横板16，横板16与支撑侧板19固定连接；所述对称的滑块15螺纹连接有转轴17，转轴17左、右两部分设 有反向的螺纹；所述转轴17通过轴承与支撑侧板19转动连接，转轴17右侧固定连接有驱动电机18，驱动电机18与外部电源电性连接。