[实用新型]玻璃基板表面湿法剥离装置有效
| 申请号： | 201721086482.2 | 申请日： | 2017-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN207571415U | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 李茜茜;王世凯;金童燮;耿军;梁亚东;刘小宁;王明明;尹浩;许亚东;蒋中任 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 230012 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种玻璃基板表面湿法剥离装置，包括：剥离室、储液罐、排气管、回流管，所述储液罐与所述剥离室之间连接有供药系统和自回流系统；所述排气管与所述剥离室连通；所述回流管的入口连接所述排气管且出口连接所述储液罐，所述回流管用于排气管内的药液回流到所述储液罐，其中，所述排气管中位于所述回流管的入口的上游的至少一部分形成为内表面凹凸不平的管段。根据本实用新型实施例的玻璃基板表面湿法剥离装置，可以提高药液的回收率。 | ||
| 搜索关键词： | 排气管 储液罐 回流管 玻璃基板表面 湿法剥离 剥离室 本实用新型 凹凸不平 出口连接 供药系统 入口连接 药液回流 内表面 自回流 管段 回收率 连通 上游 | ||
【主权项】：
1.一种玻璃基板表面湿法剥离装置，其特征在于，包括：剥离室；储液罐，所述储液罐与所述剥离室之间连接有供药系统和自回流系统；排气管，所述排气管与所述剥离室连通；回流管，所述回流管的入口连接所述排气管且出口连接所述储液罐，所述回流管用于排气管内的药液回流到所述储液罐，其中，所述排气管中位于所述回流管的入口的上游的至少一部分形成为内表面凹凸不平的管段。
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