[实用新型]一种CVD金刚石生长腔室内的石英钟罩结构有效

专利信息
申请号: 201721067108.8 申请日: 2017-08-24
公开(公告)号: CN207153655U 公开(公告)日: 2018-03-30
发明(设计)人: 碳星;蔺钢;李升 申请(专利权)人: 西安碳星半导体科技有限公司
主分类号: B01J3/06 分类号: B01J3/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 710000 陕西省西安市国家民用航天产*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 实用新型公开了一种CVD金刚石生长腔室内的石英钟罩结构,包括罩体,所述罩体的外侧设有两块L形锁紧板,且两块L形锁紧板关于罩体对称设置,所述锁紧板内设有容纳腔,所述容纳腔侧壁上固定连接有第一弹簧,所述第一弹簧的一端固定连接有滑板,所述滑板滑动连接在容纳腔的侧壁上,所述滑板的下侧设有连接板,所述连接板的一侧设有多个锁紧螺栓,所述连接板上设有与锁紧螺栓相匹配的第一螺栓孔,所述滑板上设有与第一螺栓孔相匹配的第二螺栓孔。本实用新型有效防止了在运输过程中灰尘进入罩体内,从而保证了石英钟罩的干净度,因此这种石英钟罩结构值得推广。
搜索关键词: 一种 cvd 金刚石 生长 室内 石英钟 结构
【主权项】:
一种CVD金刚石生长腔室内的石英钟罩结构,包括罩体(1),其特征在于,所述罩体(1)的外侧设有两块L形锁紧板(2),且两块L形锁紧板(2)关于罩体(1)对称设置,所述锁紧板(2)内设有容纳腔(3),所述容纳腔(3)侧壁上固定连接有第一弹簧(4),所述第一弹簧(4)的一端固定连接有滑板(5),所述滑板(5)滑动连接在容纳腔(3)的侧壁上,所述滑板(5)的下侧设有连接板(6),所述连接板(6)的一侧设有多个锁紧螺栓(7),所述连接板(6)上设有与锁紧螺栓(7)相匹配的第一螺栓孔,所述滑板(5)上设有与第一螺栓孔相匹配的第二螺栓孔,所述锁紧螺栓(7)的一端穿过第一螺栓孔和第二螺栓孔将连接板(6)固定连接在滑板(5)上,所述连接板(6)的下端固定连接有插块(8),所述罩体(1)上设有与插块(8)相匹配的插孔,所述插块(8)插设在插孔内,所述滑板(5)的一端设有推杆(9),所述容纳腔(3)的侧壁上设有与推杆(9)相匹配的条形通孔(10),所述推杆(9)的一端穿过条形通孔(10)并延伸至L形锁紧板(2)的外侧;两块L形锁紧板(2)之间设有挡板(11),所述挡板(11)位于罩体(1)的开口处,所述挡板(11)的两端均设有空腔(12),所述空腔(12)的侧壁上固定连接有第二弹簧(13),所述第二弹簧(13)的一端固定连接有移动板(14),所述移动板(14)的一端固定连接有固定杆(15),所述L形锁紧板(2)上设有与固定杆(15)相匹配的固定孔,所述固定杆(15)穿过空腔(12)侧壁上的通孔并插设在固定孔内,所述移动板(14)的一端固定连接有移动杆(16),所述移动杆(16)的一端穿过挡板(11)上的矩形通孔并延伸至挡板(11)的下侧。
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