[实用新型]一种冷却液循环系统有效
| 申请号： | 201721065748.5 | 申请日： | 2017-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN207958287U | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 石海涛;刘晓伟;范猛;刘琦;刘涛;赵朋占;王少刚;辛超;刘沛然;杨旭洲;李建扬;米心愿;刘超;张猛;李彦楠;王宏伟;李海彬;邱长兴;孙青格勒;王心;贾瑞波 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C10M175/00 | 分类号： | C10M175/00;B28D7/02 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300384 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种冷却液循环系统，包括废液回收装置，所述废液回收装置依次与废液收集池、压滤机、一次检验装置、预调配罐、调配装置、二次检验装置、精滤器、流量调节装置、供给泵、线切机进液口连接；所述调配装置和所述预调配罐之间设有浓度检测装置；所述供给泵和所述流量调节装置之间设有无压过滤器。本实用新型的有益效果是：RO水的回收率能达到90％以上，冷却液的回收率能达到80％以上，可降低冷却液成本30％‑60％；压滤机和精滤器的二级过滤能够保障供液中硅粉含量<1‰。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却液循环系统 废液回收装置 流量调节装置 调配装置 检验装置 调配罐 供给泵 精滤器 冷却液 压滤机 回收率 浓度检测装置 过滤器 本实用新型 废液收集池 二级过滤 进液口 线切机 供液 硅粉 无压 | ||
【主权项】：
1.一种冷却液循环系统，其特征在于：包括废液回收装置，所述废液回收装置一端与线切机废液出口连接，另一端与废液收集池连接，所述废液收集池通过潜水泵与压滤机连接，所述压滤机与一次检验装置连接，所述一次检验装置与预调配罐连接，所述预调配罐与调配装置连接；所述调配装置和所述预调配罐之间设有浓度检测装置；所述调配装置与二次检验装置连接，所述二次检验装置与精滤器连接，所述精滤器通过供液管道与供给泵连接，所述供给泵前设有流量调节装置，所述供给泵与线切机进液口连接。
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