[实用新型]应用于蒸镀镀金工艺的坩埚有效
申请号: | 201721039345.3 | 申请日: | 2017-08-18 |
公开(公告)号: | CN207331046U | 公开(公告)日: | 2018-05-08 |
发明(设计)人: | 吴琼;侯杰泞 | 申请(专利权)人: | 福建兆元光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/30 | 分类号: | C23C14/30;C23C14/14 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 350000 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种应用于蒸镀镀金工艺的坩埚;包括坩埚本体,坩埚本体的底部可拆卸连接有石墨垫片,石墨垫片呈环形;石墨垫片的内径为20mm,外径为37mm。本实用新型的优点是:1、在增加了石墨垫片后,隔绝了Au坩埚与冷却水直接接触,石墨片具有耐高温、导热性的特点,这样可使Au坩埚表面均匀加热,不会出现坩埚中央凹槽的情况;2、有垫石墨片的炉次与不垫石墨片的炉次对比,镀金速率更稳定;3、有垫石墨片的炉次与炉次对比,功率差异较大,但有垫石墨片的炉次的功率稳定性更佳,且功率在15%左右,功率更低;4、电压的功率降低,有助于电子枪灯丝的保护,同时将低电子枪灯丝的损耗,同时降低电能的消耗,节约了生产成本。 | ||
搜索关键词: | 应用于 镀金 工艺 坩埚 | ||
【主权项】:
1.一种应用于蒸镀镀金工艺的坩埚;其特征是,包括坩埚本体(1),所述坩埚本体(1)的底部可拆卸连接有石墨垫片(2),所述石墨垫片(2)呈环形;所述石墨垫片(2)的内径为20mm,外径为37mm;所述坩埚本体(1)的底部设置有嵌槽,所述石墨垫片(2)的顶部设置有与嵌槽适配的顶块(21);所述坩埚本体(1)上设置有用于将所述顶块(21)锁定于嵌槽内的锁定组件。
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