[实用新型]平面度及厚度检测装置有效
申请号: | 201720939509.1 | 申请日: | 2017-07-28 |
公开(公告)号: | CN207248105U | 公开(公告)日: | 2018-04-17 |
发明(设计)人: | 周建林;吴国江;张晨;梁亚浩;薛磊恒;校明桦 | 申请(专利权)人: | 福士瑞精密工业(郑州)有限公司 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06;G01B11/30 |
代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司44334 | 代理人: | 薛晓伟 |
地址: | 450000 河南省*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 一种平面度及厚度检测装置,包括承载平台及安装在所述承载平台上的承载架及测量机构,所述承载架用于承载待测件,所述测量机构用于测量所述待测件上待测点到所述测量机构的距离,所述测量机构包括两组测量件,所述两组测量件安装在所述承载平台上,且位于所述承载架的两侧,分别对应待测件的上下表面,每组测量件通过各自对应的上、下表面的反射光测量待测点到对应组测量件的距离。 | ||
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【主权项】:
一种平面度及厚度检测装置,包括承载平台及安装在所述承载平台上的承载架及测量机构,所述承载架用于承载待测件,所述测量机构用于测量所述待测件上待测点到所述测量机构的距离,所述承载架包括承载板,其特征在于:所述测量机构包括两组测量件,所述两组测量件安装在所述承载平台上,且位于所述承载板的两侧,分别对应待测件的上下表面,每组测量件通过各自对应的上、下表面的反射光测量待测点到对应组测量件的距离。
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