[实用新型]平面度及厚度检测装置有效
申请号: | 201720939509.1 | 申请日: | 2017-07-28 |
公开(公告)号: | CN207248105U | 公开(公告)日: | 2018-04-17 |
发明(设计)人: | 周建林;吴国江;张晨;梁亚浩;薛磊恒;校明桦 | 申请(专利权)人: | 福士瑞精密工业(郑州)有限公司 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06;G01B11/30 |
代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司44334 | 代理人: | 薛晓伟 |
地址: | 450000 河南省*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 平面 厚度 检测 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种检测装置,尤其涉及一种平面度及厚度检测装置。
背景技术
传统的玻璃平面度及厚度检测技术是在玻璃上方或下方采用激光传感器检测玻璃,通过光面玻璃单个表面的反射,测量出第一个表面的平面度,通过修正玻璃折射系数求出玻璃厚度和第二平面的平面度。然而,这样的检测方式需要用到材质折射率,测量不同材质玻璃时需要调整修正系数,机种切换不方便。
实用新型内容
鉴于上述状况,有必要提供一种方便测量不同材质玻璃的平面度及厚度检测装置。
一种平面度及厚度检测装置,包括承载平台及安装在所述承载平台上的承载架及测量机构,所述承载架用于承载待测件,所述测量机构用于测量所述待测件上待测点到所述测量机构的距离,所述承载架包括承载板,所述测量机构包括两组测量件,所述两组测量件安装在所述承载平台上,且位于所述承载板的两侧,分别对应待测件的上下表面,每组测量件通过各自对应的上、下表面的反射光测量待测点到对应组测量件的距离。
进一步地,所述两组测量件测量的上下表面间任意待测点之间的连线与所述承载板均不垂直。
进一步地,所述平面度及厚度检测装置还包括移动机构,所述移动机构安装在所述承载平台上,用于移动所述测量机构。
进一步地,所述移动机构包括X轴滑动组件,用于驱使所述测量机构沿X轴方向移动,所述X轴滑动组件包括直线导轨、滚珠丝杠、电机及滑板,所述直线导轨及所述滚珠丝杠安装在所述承载平台上,所述电机固定在所述滚珠丝杠的螺杆一端,所述滑板滑动装设在所述直线导轨及所述滚珠丝杠上。
进一步地,所述Y轴滑动组件包括固定在所述滑板上的底座、装设在所述底座上的导轨、与所述导轨滑动安装的导板、固定在所述导板上的立柱及两上下安装在所述立柱之间的安装板,所述安装板用于安装所述测量机构,且分别位于所述承载板的上下两侧。
进一步地,所述Y轴滑动组件还包括安装在所述底座外侧的Y轴微调件,所述Y轴微调件用于对所述安装板相对所述底座在Y方向上的位移进行微调。
进一步地,所述Z轴滑动组件分别安装包括固定架及Z轴微调件,所述固定架包括水平安装在所述安装板上的安装块、大致垂直所述安装块的安装条及装设在所述安装条上的Z轴导轨,所述安装块通过滑块与装设在安装板上的Y轴导轨滑动安装在一起。
进一步地,所述Z轴微调件与一Z轴锁定片安装在所述安装板上,用于对所述测量机构相对所述安装板在Z方向上的位移进行微调。
进一步地,所述安装板上还安装Y向微调件,用于对所述 测量机构相对所述安装板在Y方向上的位移进行微调。
进一步地,所述测量件为激光传感器或同轴共焦传感器。
上述平面度及厚度检测装置,在待测件的两面均装设测量件,待测件的每个面仅利用反射光就能测量待测点到测量件的距离,进而获得每个面的平面度及玻璃的厚度,不需要利用折射率,方便测量不同材质待测件的平面度及厚度。
附图说明
图1为本实用新型一实施方式中平面度及厚度检测装置的立体示意图。
图2为图1所示平面度及厚度检测装置中承载平台与X轴滑动组件的立体示意图。
图3为图1所示平面度及厚度检测装置的一局部示意图。
图4为图3所示平面度及厚度检测装置的另一角度示意图。
主要元件符号说明
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实 施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
需要说明的是,当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中设置的元件。当一个元件被认为是“设置于”另一个元件,它可以是直接设置在另一个元件上或者可能同时存在居中设置的元件。
除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
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