[实用新型]一种用于硅片生产的洁净型清洗设备

摘要

本实用新型涉及一种清洗设备，尤其涉及一种用于硅片生产的洁净型清洗设备。本实用新型要解决的技术问题是提供一种清洗彻底，清洗效率高的用于硅片生产的洁净型清洗设备。为了解决上述技术问题，本实用新型提供了这样一种用于硅片生产的洁净型清洗设备，包括有底板、支杆、清洗框、网板、驱动机构、旋转机构、顶板等；支撑杆固接于底板一端部；旋转机构固接于底板远离支撑杆的端部，旋转机构用于搅动清洗液；顶板固接于支撑杆顶部；驱动机构固接于底板，且位于支撑杆和旋转机构之间。本实用新型达到了清洗彻底，提高清洗效率的效果。

主权项

一种用于硅片生产的洁净型清洗设备，其特征在于，包括有底板（1）、支杆（2）、清洗框（3）、网板（4）、驱动机构（5）、旋转机构（6）、顶板（7）、摆动机构（8）、平皮带（9）、钢丝绳（10）、网框（11）和支撑杆（12），支撑杆（12）固接于底板（1）一端部；旋转机构（6）固接于底板（1）远离支撑杆（12）的端部，旋转机构（6）用于搅动清洗液；顶板（7）固接于支撑杆（12）顶部；驱动机构（5）固接于底板（1），且位于支撑杆（12）和旋转机构（6）之间，旋转机构（6）与驱动机构（5）传动连接；摆动机构（8）固接于顶板（7），且通过平皮带（9）与驱动机构（5）传动连接，摆动机构（8）用于带动网框（11）摆动；两支杆（2）一端部固接于底板（1），且位于旋转机构（6）两侧，另一端部固接于清洗框（3）；网板（4）固接于清洗框（3）内部，网框（11）通过钢丝绳（10）与顶板（7）连接，且网框（11）位于网板（4）上方。