[实用新型]一种扩散炉用的三氯氧磷源瓶支架

摘要

本实用新型公开了一种扩散炉用的三氯氧磷源瓶支架，包括能够搁置在所述扩散炉的恒温槽上的板状架体，所述架体上设有用于观察所述恒温槽内液位的观察孔、添加/抽放所述恒温槽内液体的进出液口、一个或多个能够容置所述三氯氧磷源瓶的容置槽。本实用新型利用容置槽搁置三氯氧磷源瓶，避免源瓶倾斜，保证扩散效果，增加了扩散工序的安全性；利用容置槽搁置三氯氧磷源瓶，阻止三氯氧磷源瓶与水直接接触，当源瓶意外破裂时不至于与水发生反应，保证安全；观察孔方便日常检查、观察恒温槽内液位；进出液口方便抽放恒温槽内液体或向恒温槽内添加新液；另外，观察孔与进出液口可兼做提手使用，方便安装拆卸该支架。

主权项

1.一种扩散炉用的三氯氧磷源瓶支架，其特征在于，包括能够搁置在所述扩散炉的恒温槽上的板状架体，所述架体上设有用于观察所述恒温槽内液位的观察孔、添加/抽放所述恒温槽内液体的进出液口、一个或多个能够容置所述三氯氧磷源瓶的容置槽。