[实用新型]烘烤设备及包含所述烘烤设备的涂胶设备有效
| 申请号： | 201720758378.7 | 申请日： | 2017-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN207254699U | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 田小冬;汪永佳 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/02 | 分类号： | B05D3/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种烘烤设备及包含所述烘烤设备的涂胶设备，所述烘烤设备包括多个彼此独立的子烘烤部件，每个子烘烤部件包括一加热部件、一冷却部件及一与所述加热部件和所述冷却部件连通的传送部件，通过设置彼此独立的子烘烤部件，使得不同子烘烤部件中的产品可单独进行烘烤而互补干扰，便于对每个子烘烤部件的烘烤时间的调整及控制，提高同一批次产品所涂布的光阻厚度的一致性，提高了产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 烘烤 设备 包含 涂胶 | ||
【主权项】：
一种烘烤设备，其特征在于，包括：多个彼此独立的子烘烤部件，每个子烘烤部件包括一加热部件、一冷却部件及一与所述加热部件和所述冷却部件连通的传送部件；其中，所述加热部件包括：一加热腔体和至少一设置于加热腔体内的加热平台；所述冷却部件包括：一冷却腔体和至少一设置于冷却腔体内的冷却平台。
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