[实用新型]晶片线切割机的冷却装置

摘要

晶片线切割机的冷却装置，在其水箱内依次设置有相互隔离的沉淀区、冷却区和取水区，在沉淀区的水箱内侧中上部安装有进水斗，沉淀区的出水管通入冷却区的中下部水平方向；在冷却区的中下部，水平安装有丝网，在丝网上方安装有多组连通的冷却管，冷却管外接冷水池。使用时从晶片切割机上冷却点流出的热水，进入水箱的沉淀区中下部，一次沉淀后从沉淀区的上层引流进入冷却区下部，二次沉淀、过滤；在冷却区内经冷却管冷却后由冷却的顶部引流进入取水区，在取水泵的作用下，循环用于晶棒的切割点的冷却。本技术使用时冷却液中碎屑沉淀、过滤干净，各循环管路不易阻塞，碎屑清理工作量小，工作效率较高。

主权项

晶片线切割机的冷却装置，该冷却装置的集水箱（10）顶盖上设计有进水口（20），进水口（20）安装在晶片线切割机（3）的集液盘的排水口（2）下方，在集水箱（10）上安装有取水泵（8），在集水箱（10）底部设置有排污管（13），在取水区（11）的顶盖上安装有取水泵（8）和取水管（9），取水管（9）与晶片线切割机上的冷却液喷水头连接；其特征在于：在集水箱（10）内依次设置有沉淀区（18）、冷却区（6）和取水区（11），且沉淀区（18）与冷却区（6）之间的隔板Ⅰ（17）的高度高于冷却区（6）和取水区（11）之间的隔板Ⅱ（12）的高度；在沉淀区（18）的集水箱（10）内侧中上部安装有进水斗（19），进水斗（19）的出口安装在集水箱（10）中下部水平方向，沉淀区（18）的出水管通入冷却区的中下部水平方向；在冷却区（6）的中下部，水平安装有丝网（16），在丝网（16）上安装有多组连通的冷却管（15），沿冷却管（15）径向设置有圆形散热片（14），冷却管（15）的进水端（7）安装在冷水池（1）中下部，出水端（5）经过抽水泵（4）连接到冷水池（1）上部。