[实用新型]晶片线切割机的冷却装置

说明书

技术领域

本技术属于晶片加工设备技术领域，具体涉及一种晶片线切割机的冷却装置。

背景技术

晶片是利用晶片线切割机从晶棒上切割下来，在切割过程中，多条切割线同时切割晶棒，一次可切出多片晶片，在切割过程中由于摩擦会产生大量的热量，为了提高切割的质量和保护切割线，在切割过程中，需要切割线与晶棒的接触点上连续不断地喷冷冷却液，在对切割线和晶棒降温的同时将切屑冲走。冷却液冲洗切割点后由集液盘收集，回流至集水箱，再由水泵抽出供应到冷却点冲洗冷却切割点，如些循环往复。由于切割线高速运动，切割点发热较大，喷洒到晶棒上的冷却液在切割点吸收热量后，升温较快。为了实现对冷却液的循环利用，现有技术中，将升温后的冷却液用滤网过滤后回流到集水箱，再用水泵抽到切割机外置的蜂窝式热交换系统内冷却，再将降温后的冷却液供应到切割点上循环使用。在冷却液循环过程中，切割线将切割晶棒时产生的切屑带入冷却水中，随着冷却液的循环，大粒径的切屑对滤网造成阻塞，小粒径的切屑随着冷却液进入蜂窝式热交换系统内的管路中，随着在管壁上形成沉淀，导致管路阻塞。由于滤网和冷却管阻塞，在每天的晶片的切割生产过程中需要对滤网和冷却管阻塞进行多次清理，严重影响生产效率，特别是对冷却管的清理，需要用高压水疏通，费力费时。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种晶片线切割机的冷却装置，解决现有技术中，存在热交换系统容易积垢导致冷却水降温效果差和影响晶片的切割质量的问题。

本实用新型的技术方案是：一种晶片线切割机的冷却装置，该冷却装置的集水箱顶盖上设计有进水口，进水口安装在晶片线切割机的集液盘的排水口下方，在水箱上安装有取水泵，在集水箱底部设置有排污管，在取水区的顶盖上安装有取水泵和取水管，取水管与晶片线切割机上的冷却液喷水头连接；在水箱内依次设置有沉淀区、冷却区和取水区，且沉淀区与冷却区之间的隔板Ⅰ的高度高于冷却区和取水区之间的隔板Ⅱ的高度；在沉淀区的水箱内侧中上部安装有进水斗，进水斗的出口安装在水箱中下部水平方向，沉淀区的出水管通入冷却区的中下部水平方向；在冷却区的中下部，水平安装有丝网，在丝网上方安装有多组连通的冷却管，沿冷却管径向设置有圆形散热片，冷却管的进水端安装在冷水池中下部，出水端经过抽水泵连接到冷水池上部。

本实用新型工作时，从晶片切割机上冷却点流出的温度较高的热水，首先从进水斗进入水箱的沉淀区中下部，在沉淀区一次沉淀；沉淀区的上层清液从隔板Ⅰ上部引流进入冷却区下部，二次沉淀，并由滤网反向过滤；在冷却区内安装有冷却管，冷却管与外部冷水池连接，在抽水泵的作用下，进行外循环，并对冷却区内的冷却液进行冷却；经过冷却的冷却液从隔板Ⅱ顶部引流进入取水区，在取水泵的作用下，循环用于晶棒的切割点的冷却。

采用本实用新型的技术方案，由于沉淀区内的进水斗的出口安装在水箱中下部，确保进入沉淀区的热水流速平稳，热水中的悬浮物静置后下沉到水箱底部；由于在冷却区中下部设置丝网，沉淀区流出的冷却液进入冷却区中下部的丝网下方，冷却液中残留的小粒径碎屑被阻挡在丝网下方，二次沉淀，丝网网孔不易受到下方的碎屑阻塞；由于在冷却区内设置冷却管，冷却管外接冷水池，冷却管沿径向设置有散热片，对冷却液形成一个外循环的冷却系统，该系统采用清洁的水源进行外部的循环冷却，循环管路不会被阻塞，清洁的冷却水在外部散热快速，冷却循环工作状态稳定；经过二次沉淀、过滤的冷却液进入取消区后供切割机使用，冷却液中碎屑杂质较少，使用效果较好，对晶片的操作较小；采用本技术后只需在每天的切割工作结束后对集水箱中的沉淀物进行一次清理，清理次数减少，正常生产的连续性增强，工作效率提高。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施例

实施例，如图1所示：一种晶片线切割机的冷却装置，该冷却装置的集水箱10顶盖上设计有进水口20，进水口20安装在晶片线切割机3的集液盘的排水口2下方，在集水箱10上安装有取水泵8，在集水箱10底部设置有排污管13，在取水区11的顶盖上安装有取水泵8和取水管9，取水管9与晶片线切割机上的冷却液喷水头连接；在集水箱10内依次设置有沉淀区18、冷却区6和取水区11，且沉淀区18与冷却区6之间的隔板Ⅰ17的高度高于冷却区6和取水区11之间的隔板Ⅱ12的高度；在沉淀区18的集水箱10内侧中上部安装有进水斗19，进水斗19的出口安装在集水箱10中下部水平方向，沉淀区18的出水管通入冷却区的中下部水平方向；在冷却区6的中下部，水平安装有丝网16，在丝网16上安装有多组连通的冷却管15，沿冷却管15径向设置有圆形散热片14，冷却管15的进水端7安装在冷水池1中下部，出水端5经过抽水泵4连接到冷水池1上部。