[实用新型]用于微流控芯片的激光刻蚀机

摘要

用于微流控芯片的激光刻蚀机，包括封闭式机柜、烟雾净化器，所述封闭式机柜包括固定底板，所述固定底板固结在封闭式机柜的上表面另一侧边缘内，所述固定底板的一侧边缘内固定安装有夹具，所述固定底板的另一侧边缘固定安装有升降台，所述升降台上固接有二氧化碳激光器，所述二氧化碳激光器的一侧端面上配合安装有光具座，所述光具座置于夹具的正上方。本实用新型通过二氧化碳激光器和光具座可以在动态移动范围内进行全三维空间加工，对微结构设计、微图案设计都有较大的柔性，能直接刻蚀、切割高分子微流控芯片，可以大幅度节约时间，简化制作步骤，提高生产效率。

主权项

用于微流控芯片的激光刻蚀机，包括封闭式机柜（1）、烟雾净化器（2），所述烟雾净化器（2）安装在封闭式机柜（1）的上表面一侧内，且构成激光刻蚀机的整体，其特征在于，所述封闭式机柜（1）包括固定底板（11），所述固定底板（11）固结在封闭式机柜（1）的上表面另一侧边缘内，所述固定底板（11）的一侧边缘内固定安装有夹具（3），所述固定底板（11）的另一侧边缘固定安装有升降台（4），所述升降台（4）上固接有二氧化碳激光器（5），所述二氧化碳激光器（5）的一侧端面上配合安装有光具座（6），所述光具座（6）置于夹具（3）的正上方。