[实用新型]一种磁控旋转靶磁场调节装置及应用其的磁控旋转靶装置有效
| 申请号： | 201720654795.7 | 申请日： | 2017-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN207062368U | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 曹瑞丰;洪耀;毛成飞;沈艰;李晓波;张民井 | 申请（专利权）人： | 枣庄维信诺电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司11250 | 代理人： | 李敏 |
| 地址： | 277000 山东省枣*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种磁控旋转靶磁场调节装置，通过设置在磁件固定条两端部的第一调节组件，用于将磁件固定条连接至磁轭并调节磁件固定条与所述磁轭的相对位置；以及，夹设在所述磁轭和水管之间的第二调节组件，用于调节所述水管与所述磁轭的相对位置。通过第一调节组件与第二调节组件的配合使用实现对磁轭与水管高度的调节，该调节方式能实现对磁场均匀的微调，达到理想的磁场均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 磁场 调节 装置 应用 | ||
【主权项】：
一种磁控旋转靶磁场调节装置，其特征在于，包括：第一调节组件，设置在磁件固定条两端部，用于将所述磁件固定条连接至磁轭并调节所述磁件固定条与所述磁轭的相对位置；第二调节组件，夹设在所述磁轭和水管之间，用于调节所述水管与所述磁轭的相对位置。
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