[实用新型]智能型磁控溅射真空镀膜机

摘要

本实用新型涉及一种过程零介入的智能型磁控溅射真空镀膜机，包括溅射室、真空抽气系统、充气系统、监测系统、控制系统，其特征在于，所述监测系统包括用于监测膜层厚度的膜厚测量装置、用于监测极靶温度的极靶测温探头、用于监测极靶内冷却水温的水温探头、用于监测极靶的靶转及转速的极靶测速探头、用于监测工件架的工转及转速的工件架测速探头。本实用新型具备镀制参数闭环监控功能，监测对象包含工转及转速、靶转及转速、靶温，油温，水温，混气比例，气压、真空度、膜层厚度等；镀制过程零介入，镀制参数闭环监控自动调整并记录，达到镀制工艺精确、制程稳定、提高工作效率的目的。

主权项

一种智能型磁控溅射真空镀膜机，包括溅射室、真空抽气系统、充气系统、监测系统、控制系统，其中，溅射室包括腔体（1）、设置在腔体中的极靶（2）、用于放置工件的工件架（3）；真空抽气系统包括扩散泵、罗茨泵、维持泵，其特征在于，所述监测系统包括设置在溅射室内用于监测膜层厚度的膜厚测量装置（4）、设置在极靶上用于监测极靶温度的极靶测温探头（5）、设置在极靶内用于监测极靶内冷却水温的水温探头（6）、设置在极靶端部用于监测极靶的靶转及转速的极靶测速探头（7）、设置在工件架中心转轴端部用于监测工件架的工转及转速的工件架测速探头（8）；所述控制系统包括用于接收膜厚测量装置所传递信号的膜厚显示器、用于接收极靶测温探头所传递信号并根据信号控制极靶温度的温度控制仪、用于接收极靶内水温探头所传递信号并根据信号控制冷却水循环的冷却水流通阀（9）、用于接收极靶测速探头所传递信号并根据信号控制速度的极靶转速控制仪、用于接收工件架测速探头所传递信号并根据信号控制速度的工件架转速控制仪。