[实用新型]石英晶片清洗装置有效
| 申请号： | 201720516910.4 | 申请日： | 2017-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN206794251U | 公开（公告）日： | 2017-12-26 |
| 发明（设计）人： | 申红卫;李健;翟艳飞 | 申请（专利权）人： | 济源石晶光电频率技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00 |
| 代理公司： | 郑州德勤知识产权代理有限公司41128 | 代理人： | 宋文龙 |
| 地址： | 454650 河南省焦作市济*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种石英晶片清洗装置，包括内部带有空腔的酸洗槽基座、多个烧杯和多个聚四氟乙烯清洗筐，所述酸洗槽基座顶部设置有多个烧杯固定孔，所述酸洗槽基座型腔内部设置有加热管，所述加热管内设置有电加热丝，各所述烧杯可拆卸设置在各所述烧杯固定孔内，各所述聚四氟乙烯清洗筐可拆卸设置在各所述烧杯中，各所述聚四氟乙烯清洗筐上均开设有透液孔。该装置方便了从酸洗液中取出石英晶片和后续对石英晶片进行热水淋洗和超声波清洗，实现了一个装置可对石英晶片进行多个工艺处理，减少了拿取石英晶片过程对石英晶片的污染。且该装置还具有结构简单，使用方便快捷等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 晶片 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种石英晶片清洗装置，其特征在于：它包括内部带有空腔的酸洗槽基座、多个烧杯和多个聚四氟乙烯清洗筐，所述酸洗槽基座顶部设置有多个烧杯固定孔，所述酸洗槽基座的空腔内部设置有加热管，所述加热管内设置有电加热丝，各所述烧杯可拆卸设置在各所述烧杯固定孔内，各所述聚四氟乙烯清洗筐可拆卸设置在各所述烧杯中，各所述聚四氟乙烯清洗筐上均开设有透液孔。
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