[实用新型]一种用于角度刻蚀的矩形离子源真空室内机构

摘要

本实用新型公开一种用于角度刻蚀的矩形离子源真空室内机构，包括工件台和离子源，工件台设置在真空室内，所述工件台安装在第一移动装置上，第一移动装置安装在第二移动装置上，所述第一移动装置带动工件台相对于离子源前后移动，所述第二移动装置带动工件台相对于离子源左右移动；离子源安装在第三移动装置上，所述第三移动装置带动离子源相对于工件做角度变换；本实用新型还在外接管路上设置柔性连接件，用以适应硬性管对于角度调整带来的不适。本实用新型改变了现有设计思路，将以前的工件旋转调节角度，改为离子源旋转调整角度，这样可以解决刻蚀均匀性的问题，还可以保证最佳射程。

主权项

一种用于角度刻蚀的矩形离子源真空室内机构，包括工件台和离子源，其特征在于：工件台设置在真空室内，所述工件台安装在第一移动装置上，第一移动装置安装在第二移动装置上，所述第一移动装置带动工件台相对于离子源前后移动，所述第二移动装置带动工件台相对于离子源左右移动；所述离子源安装在第三移动装置上，所述第三移动装置带动离子源相对于工件做角度变换；所述第一移动装置包括第一滑轨、第一丝杠、第一丝杠电机、滑块；所述第一滑轨安装在一工件台支撑平台上，所述工件台支撑平台安装在所述第二移动装置上；所述滑块设置在第一滑轨中，滑块上固定工件台，同时滑块上穿设第一丝杠，第一丝杠由第一丝杠电机驱动；所述第二移动装置包括第二滑轨、第二丝杠和第二丝杠电机；所述第一移动装置通过一工件台支撑平台安装在所述第二滑轨上，同时所述工件台支撑平台底部穿设第二丝杠，第二丝杠由第二丝杠电机驱动。