[实用新型]一种等离子体发生装置用电晕电极有效
申请号: | 201720481904.X | 申请日: | 2017-05-03 |
公开(公告)号: | CN206993471U | 公开(公告)日: | 2018-02-09 |
发明(设计)人: | 周志华;释延豹 | 申请(专利权)人: | 释延豹 |
主分类号: | H05H1/24 | 分类号: | H05H1/24;C23F4/00;C23C18/44;C23C18/18 |
代理公司: | 北京京万通知识产权代理有限公司11440 | 代理人: | 万学堂 |
地址: | 450008 河南省郑*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种等离子体发生装置用电晕电极,该电晕电极的制作方法主要包括清洗‑干燥‑覆膜‑刻蚀‑清洗‑干燥‑冲压‑覆膜;该发明开发了一种刻蚀、冲压以及镀膜新工艺,该工艺以钛板为基材,首先通过刻蚀加工出圆柱形电极形状,然后对圆柱形电极进行冲压以制备出尖端形状,该加工方法能确保各个放电点的加工的精度,提高放电的均匀性,减小放电电极的尺寸;另外,本实用新型的电晕电极比通过镀膜的方法生产的电极在有突起的钛电极表面镀一层铂,从而增加电极的使用寿命及放电的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 等离子体 发生 装置 用电 电极 | ||
【主权项】:
一种等离子体发生装置用电晕电极,其特征在于,该电极包括:一块厚度为1~2mm的钛板,加工成一定尺寸的片状钛板(1);对钛板(1)表面的通过蚀刻加工出的圆柱形电极形状冲压,压出尖端形状(2);在钛板表面上沉淀相对稳定的TiH2膜;在钛板表面的TiH2膜上镀一层铂,即所述电晕电极。
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