[实用新型]一种太阳能电池干法制绒的弹片装置

摘要

本实用新型公开了一种太阳能电池干法制绒的弹片装置，包括其设置在放置有线性等离子源的腔体内，腔体内还设置有集尘盒、驱使载板线性运行的滚轮、安装座、安装在安装座上的弹片，安装座的底部通过导电连接装置连接至外部接地低频电源以与弹片形成电连接；弹片在复位状态下的顶端水平位置高于滚轮的顶端水平位置；当载板通过时，弹片产生弹性变形并提供恒定的弹力以持续接触载板的下表面。该实用新型采用弹片以使运动状态中的载板和低频电源导通而增强等离子体对硅片的物理轰击，保证硅片制绒的效果；弹片采用铝材质，以抗离子轰击并保证和载板间的良好导通及保持良好弹性；通过集尘盒有效收集刻蚀过程的废尘，方便清理，提高了生产效率。

主权项

一种太阳能电池干法制绒的弹片装置，其设置在放置有线性等离子源的腔体内，其特征在于，所述腔体内还设置有：对应设置在所述线性等离子源下方以用于驱使载板线性运行的滚轮，以及弹性导电结构；所述弹性导电结构包括对应所述载板线性运行方向设置的安装座，每侧所述安装座的上端设置有至少一个弹性导电体，所述安装座的底部通过导电连接装置连接至外部接地电源以与所述弹性导电体形成电连接；所述弹性导电体在复位状态下的顶端水平位置高于所述滚轮的顶端水平位置；当所述载板通过时，所述弹性导电体产生弹性变形并提供恒定的弹力以持续接触所述载板的下表面。