[实用新型]检查夹具及具备该检查夹具的检查装置

摘要

本实用新型涉及检查夹具及具备该检查夹具的检查装置。检查夹具包括夹具头部以及电极安装部，夹具头部包括具有检查侧贯通孔的检查侧支承体；具有电极侧贯通孔的电极侧支承体；将检查侧支承体与电极侧支承体连接在一起的连接构件；以及贯穿检查侧贯通孔和电极侧贯通孔的多根探针。电极侧支承体由分别形成有贯通孔的多块电极侧支承板层叠而成，贯通孔包括小径部和直径大于小径部的大径部，多块电极侧支承板的多个贯通孔构成电极侧贯通孔。多块电极侧支承板中，靠连接构件一侧的第一电极侧支承板的贯通孔的小径部比大径部靠连接构件一侧，该小径部在靠连接构件一侧具有扩口部，该扩口部的直径随着靠近连接构件而逐渐变大。

主权项

一种检查夹具，安装在用于对检查对象进行检查的检查装置中，包括：夹具头部；以及以能装卸的方式与所述夹具头部连接，并设置在所述夹具头部的同所述检查对象相反的一侧，且安装有电极的电极安装部，其中，所述夹具头部包括：具有检查侧贯通孔的检查侧支承体；与所述检查侧支承体隔开间隔配置，且具有电极侧贯通孔的电极侧支承体；将所述检查侧支承体与所述电极侧支承体连接在一起的连接构件；以及贯穿所述检查侧贯通孔和所述电极侧贯通孔、前端从所述检查侧支承体突出而能够与所述检查对象接触、后端从所述电极侧支承体突出而与所述电极接触的多根探针，所述检查夹具的特征在于，所述电极侧支承体由分别形成有贯通孔的多块电极侧支承板层叠而成，所述贯通孔包括小径部和直径大于所述小径部的大径部，多块所述电极侧支承板的多个所述贯通孔构成所述电极侧贯通孔，多块所述电极侧支承板中，靠所述连接构件一侧的第一电极侧支承板的贯通孔的小径部比大径部靠所述连接构件一侧，该小径部在靠所述连接构件一侧具有扩口部，该扩口部的直径随着靠近所述连接构件而逐渐变大。