[实用新型]基板显影装置

摘要

本实用新型涉及平板显示器生产领域，公开了一种基板显影装置，该装置中包括显影单元，所述显影单元中包括显影槽；而且该装置中还包括与所述显影单元配合安装的消泡单元，所述消泡单元包括消泡槽、消泡槽外盖、抽风管以及液体喷淋组件，其中所述消泡槽和所述消泡槽外盖配合安装以形成消泡空间，所述消泡槽上形成有连通所述消泡空间和所述显影槽内腔的泡沫溢流口以及连通所述消泡空间和外部的废液流出口，所述泡沫溢流口位于高于所述显影槽中显影剂的液面的位置；所述抽风管连通所述消泡空间与外部抽风机；所述液体喷淋组件安装在所述消泡空间内高于所述废液流出口的位置。这种基板显影装置的使用能够提高产品稼动率、减少基板显影不良的风险。

主权项

一种基板显影装置，所述装置中包括显影单元，所述显影单元中包括显影槽(11)，其特征在于，所述装置中还包括与所述显影单元配合安装的消泡单元，所述消泡单元包括消泡槽(21)、消泡槽外盖(22)、抽风管(23)以及液体喷淋组件(24)，其中所述消泡槽(21)和所述消泡槽外盖(22)配合安装以形成消泡空间，所述消泡槽(21)上形成有连通所述消泡空间和所述显影槽(11)内腔的泡沫溢流口(211)以及连通所述消泡空间和外部的废液流出口，所述泡沫溢流口(211)位于高于所述显影槽(11)中显影剂的液面的位置；所述抽风管(23)连通所述消泡空间与外部抽风机；所述液体喷淋组件(24)安装在所述消泡空间内高于所述废液流出口的位置。