[实用新型]一种应用于激光溅射离子源的激光扫描装置有效
| 申请号： | 201720390504.8 | 申请日： | 2017-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN206638572U | 公开（公告）日： | 2017-11-14 |
| 发明（设计）人： | 陆仲福;徐春风;郭晓军;胡修稳;朱志祥;戚丽;张峰 | 申请（专利权）人： | 合肥美亚光电技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/73 |
| 代理公司： | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙)34124 | 代理人： | 方荣肖 |
| 地址： | 230000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种应用于激光溅射离子源的激光扫描装置，其包括安装靶材的基座零件；发出激光束溅射靶材的激光器；安装激光器且驱动激光器升降的升降台；将该激光束反射至靶材的激光溅射作用区上的反射镜；安装反射镜且驱动反射镜旋转的旋转台，反射镜的旋转面垂直于激光器的升降轨迹。本实用新型无需移动靶材，实现激光束在能够照射靶材的全部有效面积的同时，还不会存在因漏气导致的信号减弱或消失的缺陷，彻底解决传统因移动靶材导致漏气的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 激光 溅射 离子源 扫描 装置 | ||
【主权项】：
一种应用于激光溅射离子源的激光扫描装置，其包括：安装靶材(11)的基座零件(12)；发出激光束溅射靶材(11)的激光器(16)；其特征在于：其还包括：安装激光器(16)且驱动激光器(16)升降的升降台(17)；将该激光束反射至靶材(11)的激光溅射作用区上的反射镜(14)；安装反射镜(14)且驱动反射镜(14)旋转的旋转台(15)，反射镜(14)的旋转面垂直于激光器(16)的升降轨迹。
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