[实用新型]大数值孔径浸油镜头波像差检测装置

摘要

本技术提供了一种大数值孔径浸油镜头波像差检测装置，包括光源、光栏、分光棱镜、标准平晶、被测镜头、超半球反射体、CCD，所述超半球反射体以玻璃制成，其矢高大于超半球反射体半径R，超半球的外圆面镀全反射膜；光源发出的出射光束汇聚在准直透镜焦点位置的光栏上，光束经分光棱镜后，沿准直透镜以平行光束的方式出射，投射在标准平晶上；以标准平晶的入射面为参考平面，一部分光线沿参考平面原路反射，另一部分光线透过参考平面出射，透过被测镜头和介质油聚焦在焦点上，光束沿焦点点入射方向射入一超半球反射体，并返回，最后两束光线均通过分光棱镜反射，在出瞳位置形成两个明亮的小孔；CCD用于将小孔处的图像转换成电信号。

主权项

大数值孔径浸油镜头波像差检测装置，包括光源（1）、光栏（4）、分光棱镜（6）、标准平晶（8）、被测镜头（9）、超半球反射体（14）、CCD（13），其特征是：所述超半球反射体（14）以玻璃制成，其矢高大于超半球反射体半径R，超半球的外圆面镀全反射膜；光源（1）发出的出射光束汇聚在准直透镜焦点位置的光栏（4）上，光束经分光棱镜（6）后，沿准直透镜（7）以平行光束的方式出射，投射在标准平晶（8）上；以标准平晶（8）的入射面为参考平面，一部分光线沿参考平面原路反射，另一部分光线透过参考平面出射，透过被测镜头（9）和介质油（15）聚焦在焦点上，光束沿焦点点入射方向射入一超半球反射体（14），并返回，最后两束光线均通过分光棱镜反射，在出瞳位置形成两个明亮的小孔； CCD（13）用于将小孔处的图像转换成电信号。