[实用新型]一种泡生法制备蓝宝石晶体设备的加热装置有效
申请号: | 201720360030.2 | 申请日: | 2017-04-07 |
公开(公告)号: | CN206616291U | 公开(公告)日: | 2017-11-07 |
发明(设计)人: | 郝贵荣 | 申请(专利权)人: | 山西中聚晶科半导体有限公司 |
主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B29/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 030600 山*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本实用新型具体涉及一种泡生法制备蓝宝石晶体设备的加热装置。所要解决的技术问题是如何更好的实现对泡生法炉体加热装置的温度控制。采用的技术方案为一种泡生法制备蓝宝石晶体设备的加热装置,包括第一组加热体、第二组加热体,所述第一组加热体设置有坩埚的外围,所述第二组加热体设置于第一组加热体的外围;所述第一组加热体由多层倾斜加热体组成;所述第二组加热体由多层侧面竖直的加热体和多层底面水平的加热体组成,分别设置于第一组加热体侧面相邻两层倾斜加热体间隔的外侧和底面相邻两层倾斜加热体间隔的下方,每层加热体通过单独的钨环进行连接固定,处于同一组加热体的不同层的加热体之间,采用单线式的钨丝连接。 | ||
搜索关键词: | 一种 法制 蓝宝石 晶体 设备 加热 装置 | ||
【主权项】:
一种泡生法制备蓝宝石晶体设备的加热装置,其特征在于,所述加热装置的加热主体包括第一组加热体(1)、第二组加热体(2),所述第一组加热体(1)设置在坩埚的外围,所述第二组加热体(2)设置于第一组加热体(1)的外围;所述第一组加热体(1)由多层倾斜加热体组成,其中侧面位于最上一层和底面位于最外一层的加热体向内倾斜,侧面位于最下一层和底面位于最内一层的加热体向外倾斜,且侧面相邻的两层加热体之间倾斜方向相反,底面相邻的两层加热体之间倾斜方向相反,所有倾斜加热体的倾斜角均为3‑5°;所述第二组加热体(2)由多层侧面竖直的加热体和多层底面水平的加热体组成,分别设置于第一组加热体(1)侧面相邻两层倾斜加热体间隔的外侧和底面相邻两层倾斜加热体间隔的下方;所述加热装置还包括圆环形的用于连接每一层加热体的钨环,每一层的加热体均固定在同一个钨环上,第一组加热体(1)侧面最上层的一层加热体顶端通过铜法兰连接在一起,除底面最内层的一层加热体末端通过钨环连接在一起外,其余各层加热体均为中部通过钨环连接,侧面竖向和底部半径上整体呈L形分布的加热体之间通过钨丝进行连接;第二组加热体(2)的连接方式与第一组加热体(1)相同。
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