[实用新型]一种新型抽真空系统有效
| 申请号： | 201720358291.0 | 申请日： | 2017-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN207276705U | 公开（公告）日： | 2018-04-27 |
| 发明（设计）人： | 周树法 | 申请（专利权）人： | 昆山立特纳米电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215316 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型抽真空系统，包括真空装置和电源系统，所述真空装置的一端设置有第一管道，其另一端设置有第二管道，所述第一管道与电源系统电性连接。所述第一管道内部设置有电磁线圈。所述第二管道为冷却装置。本实用新型为研发大型DLC‑2800超硬纳米薄膜涂层设备中的抽真空系统，通过设置冷却装置，可以有效的吸收系统在生产中产生的热量，避免反油现象以及防止烫伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 真空 系统 | ||
【主权项】：
一种新型抽真空系统，其特征在于：包括真空装置（1）和电源系统（3），所述真空装置（1）的一端设置有第一管道（2），其另一端设置有第二管道（4），所述第一管道与电源系统（3）电性连接。
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