[实用新型]一种新型抽真空系统有效
申请号: | 201720358291.0 | 申请日: | 2017-04-07 |
公开(公告)号: | CN207276705U | 公开(公告)日: | 2018-04-27 |
发明(设计)人: | 周树法 | 申请(专利权)人: | 昆山立特纳米电子科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215316 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 真空 系统 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种新型抽真空系统。
背景技术
在研发大型DLC-2800超硬纳米薄膜涂层设备中的涉及到抽真空系统,由于在抽真空的过程中会产生大量的热能,热能会使油蒸发,产生发油现象,而且热能容易在使用电子过滤装置中烫伤人员。
实用新型内容
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种新型抽真空系统。
本实用新型为了解决其技术问题所采取的技术方案是:
一种新型抽真空系统,包括真空装置和电源系统,所述真空装置的一端设置有第一管道,其另一端设置有第二管道,所述第一管道与电源系统电性连接。
所述第一管道内部设置有电磁线圈。
所述第二管道为冷却装置。
本实用新型的有益效果是:
本实用新型为研发大型DLC-2800超硬纳米薄膜涂层设备中的抽真空系统,通过设置冷却装置,可以有效的吸收系统在生产中产生的热量,避免反油现象以及防止烫伤。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1为本实用新型的结构示意图。
其中:1、真空装置;2、第一管道;3、电源系统;4、第二管道。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。
如图1所示,一种新型抽真空系统,包括真空装置1和电源系统3,所述真空装置1的一端设置有第一管道2,其另一端设置有第二管道4,所述第一管道2与电源系统3电性连接,所述第一管道2内部设置有电磁线圈。所述第二管道4为冷却装置。本实用新型为研发大型DLC-2800超硬纳米薄膜涂层设备中的抽真空系统,通过设置冷却装置,可以有效的吸收系统在生产中产生的热量,避免反油现象以及防止烫伤。
上述附图及实施例仅用于说明本实用新型,任何所属技术领域普通技术人员对其所做的适当变化或修饰,或改用其他花型做此技术上的改变,都皆应视为不脱离本实用新型专利范畴。
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