[实用新型]高纯供气压力变化自动切换装置

摘要

本实用新型公开了一种高纯供气压力变化自动切换装置，包括控制处理器，所述控制处理器的输出端电连接气体压力检测传感器的输入端，气体压力检测传感器的输出端电连接气体压力计算模块的输入端，气体压力计算模块的输出端电连接数据反馈模块的输入端，数据反馈模块的输出端电连接控制处理器的输入端。本实用新型对供气装置内部的气压进行检测，对检测的气体压力进行计算，从而得到相应的气压值，把检测出来的气压值和标准值进行对比，方便得知气压状态，分别进行气压大或气压小的控制，通过改变供气速率来改变气压的大小，达到了自动切换供气压力的优点，从而有效的解决了现有供气装置内部气压起伏较大造成供气装置损坏的问题。

主权项

一种高纯供气压力变化自动切换装置，包括控制处理器（1），其特征在于：所述控制处理器（1）的输出端电连接气体压力检测传感器（2）的输入端，所述气体压力检测传感器（2）的输出端电连接气体压力计算模块（3）的输入端，所述气体压力计算模块（3）的输出端电连接数据反馈模块（4）的输入端，所述数据反馈模块（4）的输出端电连接控制处理器（1）的输入端，所述控制处理器（1）的输出端电连接标准气压模块（5），所述标准气压模块（5）的输出端电连接气压对比模块（6）的输入端，所述气压对比模块（6）与控制处理器（1）进行双向电连接，所述控制处理器（1）的输出端电连接气压调控指令下达模块（7）的输入端，所述气压调控指令下达模块（7）的输出端电连接分类控制模块（8）的输入端，所述分类控制模块（8）的输出端分别电连接气压降低模块（9）的输入端和气压升高模块（10）的输入端，所述气压降低模块（9）的输出端电连接供气速率降低模块（11）的输入端，所述气压升高模块（10）的输出端电连接供气速率加快模块（12）的输入端，所述供气速率降低模块（11）的输出端和供气速率加快模块（12）的输出端均电连接反馈模块（13）的输入端，所述反馈模块（13）的输出端电连接控制处理器（1）的输入端。