[实用新型]高纯供气压力变化自动切换装置

权利要求书

1.一种高纯供气压力变化自动切换装置，包括控制处理器（1），其特征在于：所述控制处理器（1）的输出端电连接气体压力检测传感器（2）的输入端，所述气体压力检测传感器（2）的输出端电连接气体压力计算模块（3）的输入端，所述气体压力计算模块（3）的输出端电连接数据反馈模块（4）的输入端，所述数据反馈模块（4）的输出端电连接控制处理器（1）的输入端，所述控制处理器（1）的输出端电连接标准气压模块（5），所述标准气压模块（5）的输出端电连接气压对比模块（6）的输入端，所述气压对比模块（6）与控制处理器（1）进行双向电连接，所述控制处理器（1）的输出端电连接气压调控指令下达模块（7）的输入端，所述气压调控指令下达模块（7）的输出端电连接分类控制模块（8）的输入端，所述分类控制模块（8）的输出端分别电连接气压降低模块（9）的输入端和气压升高模块（10）的输入端，所述气压降低模块（9）的输出端电连接供气速率降低模块（11）的输入端，所述气压升高模块（10）的输出端电连接供气速率加快模块（12）的输入端，所述供气速率降低模块（11）的输出端和供气速率加快模块（12）的输出端均电连接反馈模块（13）的输入端，所述反馈模块（13）的输出端电连接控制处理器（1）的输入端。

2.根据权利要求1所述的高纯供气压力变化自动切换装置，其特征在于：所述控制处理器（1）的输出端电连接仪器控制模块（14）的输入端，所述仪器控制模块（14）的输出端电连接供气装置（15）的输入端。

3.根据权利要求2所述的高纯供气压力变化自动切换装置，其特征在于：所述供气装置（15）包括供气量调节模块（16），所述仪器控制模块（14）的输出端电连接供气量调节模块（16）的输入端。

4.根据权利要求3所述的高纯供气压力变化自动切换装置，其特征在于：所述供气量调节模块（16）分别包括供气量加大模块（17）和供气量降低模块（18），所述仪器控制模块（14）的输出端电连接供气量加大模块（17）的输入端，所述仪器控制模块（14）的输出端电连接供气量降低模块（18）的输入端。