[实用新型]白光光谱共焦线扫描装置有效
申请号: | 201720342246.6 | 申请日: | 2017-04-01 |
公开(公告)号: | CN206803960U | 公开(公告)日: | 2017-12-26 |
发明(设计)人: | 姚勇 | 申请(专利权)人: | 浙江协同光电科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/25 | 分类号: | G01B11/25 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司33200 | 代理人: | 王嘉华 |
地址: | 314000 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种白光光谱共焦线扫描装置,把白色光源通过准直镜、单维聚焦镜、单维准直镜、平面反射振镜、抛物面反射镜、单维色散聚焦镜转变成一束随平面反射振镜转动扫描的线状扫描线,平面反射振镜转动的角度为线状扫描线对物体表面扫描的行程,被测物体表面的变化,会使线状扫描线不共焦,光谱仪即可通过色散记录被测物体表面轮廓和表面形状的变化。本实用新型的白光光谱共焦线扫描装置可以将现有技术点采样提高到线采样,可实现采样效率高、工作速度快的目的,本实用新型可用于物体表面和轮廓的检测仪。 | ||
搜索关键词: | 白光 光谱 共焦线 扫描 装置 | ||
【主权项】:
一种白光光谱共焦线扫描装置,包括白光光源(1)和光谱仪(5),其特征在于上述白光光源(1)放置在一个准直镜(2)的焦点处形成平行光,上述平行光经单维聚焦镜(3)和单维准直镜形成细长状平行光,上述细长状平行光投射到平面反射振镜(7),经平面反射振镜(7)反射到一个抛物面反射镜(8),上述抛物面反射镜(8)的焦线是平面反射振镜(7)的转轴,上述细长状平行光经抛物面反射镜(8)反射到单维色散聚焦镜(9),在单维色散聚焦镜(9)的焦线处汇聚成线状光,被测物体(10)的表面放置在单维色散聚焦镜(9)的焦线处,聚焦在被测物体(10)表面的线状光反射经单维色散聚焦镜(9)、抛物面反射镜(8)、平面反射振镜(7)、分光镜(6)投射到光谱仪(5)。
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