[实用新型]一种基于FA的高精度研磨装置

摘要

本实用新型涉及高精度研磨设备领域，尤其一种基于FA的高精度研磨装置，包括高速并行FA、激光器和研磨设备，激光器和研磨设备均设置在高速并行FA的内部，研磨设备包括主轴组件、研磨头组件、研磨组件、压力调节器、传动机构、摆动机构、第一驱动机构、第二驱动机构和基座组成，所述主轴组件设置在基座的上端，第一驱动机构和第二驱动机构均通过传动机构连接主轴组件，所述主轴组件连接摆动机构，摆动机构通过研磨组件连接研磨头组件，压力调节器与研磨头组件连接。本实用新型生产成本低特殊结构的设计极大的降低了对化学材料的性质要求，化学材料的易得性高，物料成本低，生产工艺简单化学材料的包覆操作要求低，易于大批量生产。

主权项

一种基于FA的高精度研磨装置，其特征在于：包括高速并行FA、激光器和研磨设备，所述激光器和研磨设备均设置在高速并行FA的内部，所述研磨设备包括主轴组件、研磨头组件、研磨组件、压力调节器、传动机构、摆动机构、第一驱动机构、第二驱动机构和基座组成，所述主轴组件设置在基座的上端，所述第一驱动机构和第二驱动机构均通过传动机构连接主轴组件，所述主轴组件连接摆动机构，所述摆动机构通过研磨组件连接研磨头组件，所述压力调节器与研磨头组件连接。