[实用新型]一种提高过载响应速度的硅电容压力传感器

摘要

本实用新型提供一种提高过载响应速度的硅电容压力传感器，从上到下依次包括上蓝宝石固定极板、硅可动电极、下蓝宝石固定极板、导压管和底座，导压管设置在底座中，上、下蓝宝石固定极板的中心均设有导压孔，导压孔与导压管相通，硅可动电极上设有的中间硬芯的上下两面分别设有线型导油槽结构，上、下蓝宝石固定极板上都设有与线型导油槽结构相配合的金属电极。本实用新型的核心部件采用蓝宝石‑硅‑蓝宝石结构实现，这两种材料都没有蠕变，避免了由于蠕变产生的热应力缓慢释放现象，提高了传感器的长期稳定性；而且线型导油槽结构的设置，能保证压力过载后仍能形成畅通的导油通道，从而提高了过载后极板之间的回弹力，提高了对压力的响应速度。

主权项

一种提高过载响应速度的硅电容压力传感器，包括硅可动电极(1)，其特征在于，硅可动电极(1)的上下两侧对称设有上蓝宝石固定极板(2)和下蓝宝石固定极板(3)，下蓝宝石固定极板(3)的下端依次设有导压管(4)和底座(5)，导压管(4)设置在底座(5)上设有的孔中，上蓝宝石固定极板(2)和下蓝宝石固定极板(3)的中心均设有导压孔(6)，下蓝宝石固定极板(3)上设有的导压孔(6)与导压管(4)相通，硅可动电极(1)包括固支边(7)、弹性膜(8)和中间硬芯(9)，中间硬芯(9)的两端通过弹性膜(8)连接固支边(7)，中间硬芯(9)的上下两面分别设有线型导油槽结构(10)，上蓝宝石固定极板(2)和下蓝宝石固定极板(3)与中间硬芯(9)的接触面上都设有与线型导油槽结构(10)相配合的金属电极(11)，上蓝宝石固定极板(2)的上表面和下蓝宝石固定极板(3)的下表面设有金属焊接层(12)，导压孔(6)的内壁淀积有金属连接层(13)，金属连接层(13)连接金属电极(11)和金属焊接层(12)。