[实用新型]一种液晶面板刻蚀系统中防止补液气泡回流机构

摘要

本实用新型公开了一种液晶面板刻蚀系统中防止补液气泡回流机构，包括进液管道、出液管道、电磁阀、流量计、浮子、开关以及设有进液口和出液口的缓冲池，所述进液管道和出液管道分别与缓冲池的进液口和出液口对应连接，电磁阀和流量计均连接于出液管道上，且电磁阀位于缓冲池与流量计之间，开关设于缓冲池的内壁上，且开关通过导线与电磁阀相连，浮子设于缓冲池内，且浮子的一端抵接于开关上并将开关开启，继而使得电磁阀打开，缓冲池内液位下降，浮子下降并远离开关，开关闭合并使得电磁阀关闭。本实用新型能够有效地防止缓冲池内的气泡进入流量计，节省因为排空气而排掉的药液，保证补液精度。

主权项

一种液晶面板刻蚀系统中防止补液气泡回流机构，其特征在于：包括进液管道（11）、出液管道（12）、电磁阀（13）、流量计（14）、浮子（15）、开关以及设有进液口和出液口的缓冲池（16），所述进液管道（11）和出液管道（12）分别与缓冲池（16）的进液口和出液口对应连接，电磁阀（13）和流量计（14）均连接于出液管道（12）上，且电磁阀（13）位于缓冲池（16）与流量计（14）之间，开关设于缓冲池（16）的内壁上，且开关通过导线与电磁阀（13）相连，浮子（15）设于缓冲池（16）内，且浮子（15）的一端抵接于开关上并将开关开启，继而使得电磁阀（13）打开，缓冲池（16）内液位下降，浮子（15）下降并远离开关，开关闭合并使得电磁阀（13）关闭。