[实用新型]带有高压保护系统的真空镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种带有高压保护系统的真空镀膜机，涉及镀膜设备技术领域，真空腔体，真空腔体底座、真空腔体抽气系统，充气布气系统，加热系统，薄膜沉积控制系统，高压控制系统，低压控制系统，蒸发源系统，工件旋转系统，还包括高压保护系统，高压保护系统包括低压控制柜、开关模块、继电器、控制电路。本实用新型通过开关模块、继电器和控制电路，实现了对电子枪高压电源状态的控制，解决了因真空腔体门或真空腔底座门护板被打开而接触到高压接线柱威胁到人身安全的问题，避免了高压启动，提高了真空镀膜机的安全性。

主权项

一种带有高压保护系统的真空镀膜机，包括真空腔体，真空腔体底座、真空腔体抽气系统，充气布气系统，加热系统，薄膜沉积控制系统，高压控制系统，低压控制系统，蒸发源系统，工件旋转系统，其特征在于，还包括高压保护系统，所述高压保护系统包括低压控制柜，用于为所述高压保护系统提供第一电压信号；开关模块，用于接收所述第一电压信号，输出第二电压信号，且由真空腔体门和/或真空腔体底座门护板的启闭控制开关模块的断开和接通状态；继电器，用于接收所述第二电压信号，并根据第二电压信号输出第三电压信号；控制电路，用于接收所述第三电压信号，并根据第三电压信号控制高压控制系统高压电源的启闭。