[实用新型]一种直写式光刻机设备有效
| 申请号： | 201720256842.2 | 申请日： | 2017-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN206741195U | 公开（公告）日： | 2017-12-12 |
| 发明（设计）人： | 陈海巍 | 申请（专利权）人： | 无锡影速半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司23211 | 代理人： | 张勇 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种直写式光刻机设备，属于直写曝光技术领域。本实用新型的直写式光刻机设备采用光路覆盖1/n个整板面积的方式来完成超大板和普通板的兼顾生产，使其在生产超大板时能够有与现有超大板LDI同等的生产产能和效果，生产普通板时能与普通板LDI拥有同等的生产产能和效果，提高设备的利用率和适用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直写式 光刻 设备 | ||
【主权项】：
一种直写式光刻机设备，包括吸盘和多个光路组件；其特征在于，所述光路组件单个与单个之间相对位置固定；所述多个光路组件是覆盖1/n个吸盘的光路组件，且n大于1。
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