[实用新型]一种直写式光刻机设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种直写式光刻机设备，属于直写曝光技术领域。

背景技术

直写式光刻机设备又称影像直接转移设备(LDI)，在半导体及PCB生产领域是一个关键设备。随着PCB市场发展的需求，对于PCB基板的尺寸要求越来越大。这就需要有一种能够生产超大板能力的直写曝光设备。同时由于一些PCB板生产商的发展受限，以及超大基板的需求量有时不能满足PCB生产商的产能能力，因此在PCB直写曝光市场领域，急需一款能够兼顾普通板与超大板同时生产的设备，并且在生产普通板时能有与普通LDI同样的产能表现。

目前在LDI市场上，还没有能够兼顾普通板与超大板生产产能的设备。现有采用DMD 方式进行曝光的LDI超大板设备中，都为多光路、多条带的扫描曝光方式。传统的设计方案为多光路覆盖整板的方式，往复扫描多个条带后曝光完成一块超大板。但无论基板多大，基本都要扫描固定的条带数量，这样就不利于产能的动态分配。当现有超大板LDI设备直接用于生产普通板时，也需要整板的扫描曝光，也要花费同等的时间进行曝光生产，达不到普通板LDI的生产产能，增加了设备使用成本与人力，设备的利用率和适用性大打折扣。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提出一种新的超大板直写式光刻机。本实用新型的超大板直写式光刻机，采用了多光路只覆盖1/n个(n大于1)整板(比如半个整板)的结构方式。采用本实用新型的超大板直写式光刻机，当曝光基板宽度大于1/n个整板宽度的超大板时，设备在扫描完1/n个(比如半个)整板后，进行一次大的步进，再继续扫描另外1/n个或者剩余的(比如半个)整板，重复步进与扫描，直至完成整个基板的扫描。当曝光基板宽度小于等于1/n个(比如半个)整板的小基板时，则不需要大的步进，只需扫描完此1/n个(比如半个)整板面积即可；与现有的利用超大板生产普通板的设备相比，扫描曝光时间节省1/n(比如一半)，增加了设备曝光产能，提高了设备的利用率和适用性。

本实用新型的第一个目的是提供一种直写式光刻机设备，包括吸盘和多个光路组件；所述光路组件单个与单个之间相对位置固定；所述多个光路组件是覆盖1/n个吸盘的光路组件，且n大于1。

在一种实施方式中，所述n为整数。

在一种实施方式中，所述n可以是2、3、4等。

在一种实施方式中，所述多个光路组件是指含有2个以上的光路组件。

在一种实施方式中，所述多个光路组件是指3、4、5、6、7或8个光路组件。

所述覆盖1/n个吸盘的光路组件，是指与多光路覆盖整板的光路组件相对应的仅能覆盖 1/n个板的光路组件。其能够在扫描曝光时经往复扫描多个条带后覆盖1/n个基板。

其中，多光路覆盖整板的含义，是指基板放置在吸盘上(吸盘宽度与基板宽度一致)，在扫描曝光时，经往复扫描多个条带后正好能完成整个板的曝光。

本实用新型中，整板宽度，就是指常规超大板生产设备所能生产的最大的整板的宽度，基板是放在吸盘上覆盖吸盘，且本实用新型中的“吸盘宽度”是指最大的整板所覆盖的吸盘的宽度(一般吸盘本体会大于等于基板宽度，本实用新型中略大的部分忽略)。

在一种实施方式中，所述光路组件为DMD组件。

在一种实施方式中，所述直写式光刻机设备还包括对准装置。

在一种实施方式中，所述直写式光刻机设备包括支撑结构、DMD组件、DMD结构步进轴、一个以上运动组件、吸盘；每个运动组件包括步进X轴、扫描Y轴、升降Z轴中的一个或多个；吸盘位于运动组件上方。

在一种实施方式中，所述直写式光刻机设备为超大板直写式光刻机；吸盘宽度为36英寸以上、48英寸以上或者55英寸以上。

本实用新型的优点和效果：

本实用新型的设备，采用了多光路只覆盖1/n个(n大于1)整板(比如半个整板)的结构方式。利用本实用新型的设备，可以完成超大板和普通板的兼顾生产，使其在生产超大板时能够有与现有超大板LDI同等的生产产能和效果，生产普通板时能与普通板LDI拥有同等的生产产能和效果，提高设备的利用率和适用性。

附图说明

图1为本实用新型的直写式光刻机设备的光路相对于超大板的布局结构示意图；

图2为扫描示意图1；

图3为扫描示意图2；

图4为扫描示意图3；

图5为扫描示意图4。

具体实施方式