[实用新型]卧式光学镀膜设备

摘要

本实用新型公开了卧式光学镀膜设备，包括圆筒型真空腔体和变电箱,所述圆筒型真空腔体与椭圆型封头大门之间通过铰链活动连接，且圆筒型真空腔体内的安装架上安装有高效膜层沉积辅助离化源和精密电子枪蒸发器，所述圆筒型真空腔体上端与圆管密封连接，所述器体顶端上的圆管的上端安装有高真空阀门，且圆管的另一端通过导管与粗抽泵的出口密封连接，粗抽泵的进口与罗茨泵密封连接，所述变电箱的顶端安装有润滑泵，所述变电箱通过导线分别与控制柜和电源电柜电性连接，且导线设置在排线管中。本实用新型在装置的内部设置有精密电子枪蒸发器和高效膜层沉积辅助离化源，使得精密电子枪蒸发器有足够蒸发距离，这样使膜层组织致密质量高。

主权项

卧式光学镀膜设备，包括圆筒型真空腔体（6）和变电箱（16）,其特征在于：所述圆筒型真空腔体（6）与椭圆型封头大门（5）之间通过铰链（17）活动连接，且圆筒型真空腔体（6）内的安装架上安装有高效膜层沉积辅助离化源（3）和精密电子枪蒸发器（4），所述圆筒型真空腔体（6）上端与圆管（8）密封连接，且圆管（8）上的法兰（9）与安装在器体（1）顶端圆管（8）上的法兰（9）通过螺栓固定连接，所述器体（1）顶端上的圆管（8）的上端安装有高真空阀门（10），且圆管（8）的另一端通过导管（14）与粗抽泵（11）的出口密封连接，粗抽泵（11）的进口与罗茨泵（13）密封连接，所述变电箱（16）的顶端安装有润滑泵（15），且润滑泵（15）的进口和出口分别与维持泵（22）和罗茨泵（13），所述变电箱（16）通过导线分别与控制柜（19）和电源电柜（20）电性连接，且导线设置在排线管（12）中。