[实用新型]一种用于镀膜室的冷却装置有效
申请号: | 201720239130.X | 申请日: | 2017-03-13 |
公开(公告)号: | CN206556462U | 公开(公告)日: | 2017-10-13 |
发明(设计)人: | 陈自新;郑立冬;朱海锋;李伟 | 申请(专利权)人: | 无锡光润真空科技有限公司 |
主分类号: | F28D1/047 | 分类号: | F28D1/047 |
代理公司: | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙)32228 | 代理人: | 孙力坚,聂启新 |
地址: | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种用于镀膜室的冷却装置,在第一室体与第二室体之间至少设置一组冷却管,冷却管的一端通过第一支撑结构固定,所述第一支撑结构设置于第一室体上;冷却管的另一端通过第二支撑结构固定,所述第二支撑结构设置于第二室体上;于冷却管的两端顺序连接螺纹管接头,螺纹管接头的端部伸入第一室体的贯通孔内。本实用新型结构简单、使用方便,一方面通过将冷却管设计成U型扁平水管增加冷却面积对气体进行冷却,另一方面利用冷却管中上管与下管间的中空结构使一侧热气体较快的流动到另外一侧,另依次被镀膜室壁冷却好的气体补充流动到相对侧,本实用新型相对于传统冷却墙的冷却效率可以提高50%以上。 | ||
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【主权项】:
一种用于镀膜室的冷却装置,其特征在于:在第一室体(15)与第二室体(16)之间至少设置一组冷却管(4),所述冷却管(4)的一端通过第一支撑结构固定,所述第一支撑结构设置于第一室体(15)上;所述冷却管(4)的另一端通过第二支撑结构固定,所述第二支撑结构设置于第二室体(16)上;于所述冷却管(4)的两端顺序连接螺纹管接头(5),所述螺纹管接头(5)的端部伸入第一室体(15)的贯通孔内。
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