[实用新型]一种用于镀膜室的冷却装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备领域，尤其涉及一种用于镀膜室的冷却装置。

背景技术

为了降低镀膜室的工作温度，常用方法是在镀膜室内增加水冷装置来吸收工作时镀膜室内产生的热量，传统水冷装置是由冷却管一体焊接形成一个冷却墙，但是该冷却墙水冷效率差，有时不能满足镀膜时基材对温度的要求并极大的降低了设备寿命。

实用新型内容

本申请人针对上述现有问题，进行了研究改进，提供一种用于镀膜室的冷却装置，其能使镀膜室体内工作气体流动的同时进行水冷，大大提高了冷却效果。

本实用新型所采用的技术方案如下：

一种用于镀膜室的冷却装置，在第一室体与第二室体之间至少设置一组冷却管，所述冷却管的一端通过第一支撑结构固定，所述第一支撑结构设置于第一室体上；所述冷却管的另一端通过第二支撑结构固定，所述第二支撑结构设置于第二室体上；于所述冷却管的两端顺序连接螺纹管接头、所述螺纹管接头的端部伸入第一室体的贯通孔内。

其进一步技术方案在于：

所述冷却管由上管与下管连通形成U型扁平水管，所述冷却管采用铜、不锈钢或铝材料制成；

于所述螺纹管接头与第一室体中贯通孔孔口的连接处、沿所述螺纹管接头的外周还设置密封套，在所述密封套内设置密封胶圈；

所述冷却管为两组或两组以上时，在各所述冷却管的两侧还分别设置用于固定冷却管的外支撑板，于两块外支撑板之间还通过第一夹紧螺钉固接；

若所述冷却管为两组或两组以上时，各冷却管的首部及尾部依次串联连通形成多管式结构；

若所述冷却管为一组时，所述第一支撑结构包括与第一室体连接的第三固定板，所述第三固定板的一端通过第二固定螺钉固接第二固定板，在所述第二固定板的上表面向外延伸形成用于支撑冷却管中上管的上凸台，在所述第二固定板的下表面向外延伸形成用于支撑冷却管中下管的下凸台；所述第二支撑结构包括第一固定板，所述第一固定板通过第一固定螺钉固接于第二室体；

若所述冷却管为两组或两组以上时，所述第一支撑结构包括与第一室体固接的第三固定板，所述第三固定板的一端连接一根第六固定板；所述第二支撑结构包括多块第五固定板，各第五固定板均与另一根第四固定板固接；第六固定板与第四固定板互为平行布置。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型结构简单、使用方便，一方面将冷却管设计成U型扁平水管增加冷却面积对气体进行冷却，另一方面利用冷却管中上管与下管间的中空结构可以使一侧热气体较快的流动到另外一侧，另依次被镀膜室壁冷却好的气体补充流动到相对侧，由于冷却管是U型扁平管，其可以增加冷却面积，本实用新型相对于传统冷却墙的冷却效率可以提高50％以上，夹紧螺钉与固定板的设置保证了冷却管位置的固定，各冷却管均位于同一平面，使上下冷却效果接近，保证了工艺的重复性及稳定性。通过采用不锈钢螺纹管接头，在保证密封性的前提既保证了冷却管有足够的连接自由度，又使水流量最大，占用面积小，保证接头寿命与冷却管一样长。

附图说明

图1为本实用新型中单管结构的主视图。

图2为图1在A-A方向的剖视图。

图3为本实用新型中多管结构的主视图。

图4为图3在B-B方向的剖视图。

其中：1、第一夹紧螺钉；2、第一固定螺钉；3、第一固定板；4、冷却管；5、螺纹管接头；6、第二固定板；601、上凸台；602、下凸台；7、第二固定螺钉；8、第三固定板；9、密封套；10、密封胶圈；11、外部接头；12、第四固定板；13、外支撑板；14、第五固定板；15、第一室体；16、第二室体；17、第六固定板。

具体实施方式

下面说明本实用新型的具体实施方式。