[实用新型]一种石英吸笔有效
| 申请号： | 201720221401.9 | 申请日： | 2017-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN206595242U | 公开（公告）日： | 2017-10-27 |
| 发明（设计）人： | 彭小江;孟祥熙;郑旭然;谢贤清;俞春娥 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 张海英,林波 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石英吸笔。其包括石英吸管，石英吸管的一端设置有石英吸盘，石英吸盘的吸附面位于石英吸管的下方，石英吸管的另一端设置有活塞装置，活塞装置包括与石英吸管相导通的管体，管体内设置有活塞杆以及用于复位活塞杆的弹簧，管体的侧壁在靠近石英吸管的一端设置有气孔。石英吸盘的吸附面位于石英吸管的下方，可避免操作时石英吸管与石墨舟边缘和硅片表面发生摩擦，同时可增加移动操作的便携性；活塞装置可提供吸真空功能，不需要外接其他的真空系统。本实用新型的石英吸笔不仅可以避免操作时石英吸管与石墨舟边缘和硅片表面发生摩擦，而且不需要外接其他的真空系统，操作更加方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 | ||
【主权项】：
一种石英吸笔，包括石英吸管(1)，其特征在于，所述石英吸管(1)的一端设置有石英吸盘(2)，所述石英吸盘(2)的吸附面位于所述石英吸管(1)的下方，所述石英吸管(1)的另一端设置有活塞装置(3)，所述活塞装置(3)包括与所述石英吸管(1)相导通的管体(31)，所述管体(31)内设置有活塞杆(32)以及用于复位所述活塞杆(32)的弹簧(33)，所述管体(31)的侧壁在靠近所述石英吸管(1)的一端设置有气孔(311)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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