[实用新型]一种磁控溅射镀膜设备真空腔室回气导流装置有效
| 申请号： | 201720206026.0 | 申请日： | 2017-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN206607309U | 公开（公告）日： | 2017-11-03 |
| 发明（设计）人： | 何天黎;田富;岳大勇 | 申请（专利权）人： | 吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人： | 孙仿卫,陈婷婷 |
| 地址： | 215222 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜设备真空腔室回气导流装置，镀膜设备至少包括密封盖板、设于密封盖板上连通真空腔室内外的多个空气进出口。每个空气进出口下方均设有对流入空气起到缓冲导流作用的缓冲导流板，缓冲导流板包括位于密封盖板下方并正对空气进出口的横挡板、分设于横挡板两侧且连接在横挡板与密封盖板之间的两个竖挡板。横挡板与竖挡板之间形成沿垂直于气流进入方向贯穿的气流通道。本装置通过将一体成型的缓冲导流板直接焊接于密封盖板上，避免了缓冲导流板脱落划伤玻璃的可能，提升了镀膜设备的安全性；其次在缓冲导流板周围填充填充物，减少了真空腔室的容积，进而减少了回气的时间，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 镀膜 设备 空腔 室回气 导流 装置 | ||
【主权项】：
一种磁控溅射镀膜设备真空腔室回气导流装置，所述镀膜设备至少包括密封盖板、设于所述密封盖板上连通所述真空腔室内外的多个空气进出口，其特征在于：每个所述空气进出口下方均设有对流入空气起到缓冲导流作用的缓冲导流板，所述缓冲导流板包括位于所述密封盖板下方并正对所述空气进出口的横挡板、分设于所述横挡板两侧且连接在所述横挡板与所述密封盖板之间的两个竖挡板，所述横挡板与两侧的所述竖挡板之间形成沿垂直于气流进入方向贯穿的气流通道。
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