[实用新型]一种真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道

摘要

本实用新型公开了一种真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，包括辊道本体、设于辊道本体轴端部上以用于安装辊道本体的轴头、套设在轴头上的绝缘保护套。轴头与辊道本体之间设有绝缘层，轴头上加设的绝缘保护套后能够有效保护绝缘层，使得绝缘层不会被靶材溅射到，完全避免了辊道与轴头导通的可能性，使辊道和轴头之间保持绝缘状态，减少了废品率。同时由于绝缘保护套结构简单、维护成本低廉；清理更换保护套简单便捷，提高磁控溅射镀膜生产线的生产效率。

主权项

一种真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，包括辊道本体、设于所述辊道本体轴端部上以用于安装所述辊道本体的轴头，其特征在于：所述辊道本体上开设有沿轴向贯穿的安装孔、位于所述辊道本体轴端部上的限位孔，其中所述限位孔的孔径大于所述安装孔的孔径；所述轴头沿轴向依次包括安装轴部、限位轴部与连接轴部，其中所述安装轴部与所述限位轴部的外侧周部上均设有绝缘层，所述安装轴部配合地穿设在所述安装孔中，且所述限位轴部配合地设置在所述限位孔中，所述绝缘辊道还包括套设在所述连接轴部上的绝缘保护套，所述绝缘保护套具有与所述限位轴部相固定连接的连接套部、与所述连接轴部相配合套设的安装套部，所述连接套部的外侧周部与所述限位孔的周向孔壁相紧密贴合，且所述安装套部与所述连接轴部之间间隙设置。