[实用新型]一种真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道

权利要求书

1.一种真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，包括辊道本体、设于所述辊道本体轴端部上以用于安装所述辊道本体的轴头，其特征在于：所述辊道本体上开设有沿轴向贯穿的安装孔、位于所述辊道本体轴端部上的限位孔，其中所述限位孔的孔径大于所述安装孔的孔径；

所述轴头沿轴向依次包括安装轴部、限位轴部与连接轴部，其中所述安装轴部与所述限位轴部的外侧周部上均设有绝缘层，所述安装轴部配合地穿设在所述安装孔中，且所述限位轴部配合地设置在所述限位孔中，所述绝缘辊道还包括套设在所述连接轴部上的绝缘保护套，所述绝缘保护套具有与所述限位轴部相固定连接的连接套部、与所述连接轴部相配合套设的安装套部，所述连接套部的外侧周部与所述限位孔的周向孔壁相紧密贴合，且所述安装套部与所述连接轴部之间间隙设置。

2.根据权利要求1所述的真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，其特征在于：所述辊道本体上，所述安装孔与所述限位孔之间形成环状的限位面，所述限位轴部的一侧端面抵挡在所述限位面上。

3.根据权利要求1所述的真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，其特征在于：所述安装轴部的外侧周部与所述安装孔的周向孔壁相紧密贴合。

4.根据权利要求1所述的真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，其特征在于：所述连接套部的轴端部紧密地抵挡在所述限位轴部上。

5.根据权利要求4所述的真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，其特征在于：所述连接套部通过绝缘螺栓与所述限位轴部相固定连接。

6.根据权利要求1所述的真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，其特征在于：所述安装套部的内侧周壁与所述连接轴部的外侧周壁之间沿径向的间隙为1mm～3mm。

7.根据权利要求6所述的真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，其特征在于：所述的间隙为2mm。

8.根据权利要求1所述的真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，其特征在于：所述绝缘保护套上，所述连接套部、所述连接轴部的壁厚相一致。

9.根据权利要求8所述的真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，其特征在于：所述绝缘保护套为聚甲醛树脂保护套。

10.根据权利要求1至9任一所述的真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，其特征在于：所述绝缘保护套由两个径向对称设置的两个半保护套沿径向拼接形成。