[实用新型]一种气体动态稀释配气系统

摘要

本实用新型提供一种气体动态稀释配气系统，包括用于连通载气钢瓶与混合容器的第一管道；设置在第一管道上的第一流量控制器、第一流量测量计；与第一流量控制器及第一流量测量计相连的第一校准模块，第一校准模块计算第一校准值并将其发送至第一流量控制器以修正第一预设流量值；用于连通组气钢瓶与混合容器的第二管道；设置在第二管道上的第二流量控制器、第二流量测量计；与第二流量控制器及第二流量测量计相连的第二校准模块，第二校准模块计算第二校准值并将其发送至第二流量控制器以修正第二预设流量值。本实用新型解决了因气体种类、浓度不同造成的准确度偏差，可以实现宽范围、高浓度的气体稀释法动态配气，且大大提高了配气准确度。

主权项

一种气体动态稀释配气系统，其特征在于，包括：第一管道，用于连通载气钢瓶与混合容器；第一流量控制器，设置在所述第一管道上，用于根据第一预设流量值控制所述第一管道的气体流量；第一流量测量计，设置在所述第一管道上，用于测量所述第一管道的流量测量值；第一校准模块，与所述第一流量控制器及所述第一流量测量计相连，用于根据所述第一预设流量值与所述第一管道的流量测量值计算第一校准值，并将所述第一校准值发送至所述第一流量控制器，以供所述第一流量控制器修正所述第一预设流量值使所述第一管道的实际流量值达到所述第一预设流量值；第二管道，用于连通组气钢瓶与所述混合容器；第二流量控制器，设置在所述第二管道上，用于根据第二预设流量值控制所述第二管道的气体流量；第二流量测量计，设置在所述第二管道上，用于测量所述第二管道的流量测量值；第二校准模块，与所述第二流量控制器及所述第二流量测量计相连，用于根据所述第二预设流量值与所述第二管道的流量测量值计算第二校准值，并将所述第二校准值发送至所述第二流量控制器，以供所述第二流量控制器修正所述第二预设流量值使所述第二管道的实际流量值达到所述第二预设流量值。