[实用新型]一种气体动态稀释配气系统

权利要求书

1.一种气体动态稀释配气系统，其特征在于，包括：

第一管道，用于连通载气钢瓶与混合容器；

第一流量控制器，设置在所述第一管道上，用于根据第一预设流量值控制所述第一管道的气体流量；

第一流量测量计，设置在所述第一管道上，用于测量所述第一管道的流量测量值；

第一校准模块，与所述第一流量控制器及所述第一流量测量计相连，用于根据所述第一预设流量值与所述第一管道的流量测量值计算第一校准值，并将所述第一校准值发送至所述第一流量控制器，以供所述第一流量控制器修正所述第一预设流量值使所述第一管道的实际流量值达到所述第一预设流量值；

第二管道，用于连通组气钢瓶与所述混合容器；

第二流量控制器，设置在所述第二管道上，用于根据第二预设流量值控制所述第二管道的气体流量；

第二流量测量计，设置在所述第二管道上，用于测量所述第二管道的流量测量值；

第二校准模块，与所述第二流量控制器及所述第二流量测量计相连，用于根据所述第二预设流量值与所述第二管道的流量测量值计算第二校准值，并将所述第二校准值发送至所述第二流量控制器，以供所述第二流量控制器修正所述第二预设流量值使所述第二管道的实际流量值达到所述第二预设流量值。

2.根据权利要求1所述气体动态稀释配气系统，其特征在于，还包括：

第一调压器，设置在所述第一管道上，位于所述载气钢瓶与所述第一流量控制器之间；

第一截止阀，设置在所述第一管道上，位于所述第一调压器与所述第一流量控制器之间；

第一过滤器，设置在所述第一管道上，位于所述第一截止阀与所述第一流量控制器之间；

第二调压器，设置在所述第二管道上，位于所述组气钢瓶与所述第二流量控制器之间；

第二截止阀，设置在所述第二管道上，位于所述第二调压器与所述第二流量控制器之间；

第二过滤器，设置在所述第二管道上，位于所述第二截止阀与所述第二流量控制器之间。

3.根据权利要求2所述气体动态稀释配气系统，其特征在于，还包括：

第三截止阀，设置在所述第一管道上，位于所述第一流量控制器与所述混合容器之间。

4.根据权利要求1或2所述气体动态稀释配气系统，其特征在于，还包括：

清洗管道，与所述第一管道或第二管道相连通，用于对所述第一管道或第二管道的进气部分进行清洗，

清洗截止阀，设置在所述清洗管道上。

5.根据权利要求1所述气体动态稀释配气系统，其特征在于，所述第一校准模块集成在所述第一流量测量计上，所述第二校准模块集成在所述第二流量测量计上。