[实用新型]一种自动精确移位的镀膜机有效
| 申请号： | 201720145283.8 | 申请日： | 2017-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN206599604U | 公开（公告）日： | 2017-10-31 |
| 发明（设计）人： | 林正亮;宣华伟;姚林生 | 申请（专利权）人： | 郑州华翔电子信息技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司51230 | 代理人： | 王正楠 |
| 地址： | 450000 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种自动精确移位镀膜机，包括由卷绕室、镀膜室组成的真空室，真空室接通一抽真空系统，镀膜室内设置有基片架、挡板以及蒸发源，挡板设置在基片架下方；挡板为可伸缩式挡板，分为固定端和自由端，镀膜室内靠近挡板固定端的壁体上设置有导轨，导轨内设置有滑块，挡板固定端与滑块连接，挡板自由端垂直连接有挡板驱动机构；挡板驱动机构具体包括动力装置，与动力装置同轴连接的滚珠丝杠，滚珠丝杠的配套螺母通过连接件与挡板自由端连接，动力装置下方还连接有移动驱动轮，移动驱动轮下方设有固定导轨，移动驱动轮设置在固定导轨上，移动驱动轮连接有驱动机构，驱动机构连接有控制器，控制器连接有输入单元。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 精确 移位 镀膜 | ||
【主权项】：
一种自动精确移位镀膜机，包括由卷绕室(1)、镀膜室(2)组成的真空室(3)，真空室(3)接通一抽真空系统(4)，其特征在于，镀膜室(2)内设置有基片架(21)、挡板(22)以及蒸发源(23)，挡板(22)设置在基片架(21)下方；所述挡板(22)为可伸缩式挡板，分为固定端(211)和自由端(212)，镀膜室(2)内靠近挡板(22)固定端(211)的壁体上设置有导轨(24)，导轨内设置有滑块(25)，挡板固定端(211)与滑块(25)连接，挡板自由端(212)垂直连接有挡板驱动机构；所述挡板驱动机构具体包括动力装置(26)，与动力装置(26)同轴连接的滚珠丝杠(27)，滚珠丝杠(27)的配套螺母通过连接件(28)与所述挡板(22)自由端(212)连接，所述动力装置(26)下方还连接有移动驱动轮(29)，移动驱动轮(29)下方设有固定导轨(210)，移动驱动轮(29)设置在固定导轨(210)上，所述移动驱动轮(29)连接有驱动机构，驱动机构连接有控制器，控制器连接有输入单元。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于郑州华翔电子信息技术有限公司，未经郑州华翔电子信息技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720145283.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
