[实用新型]薄膜体声波谐振器及滤波器有效
| 申请号： | 201720139478.1 | 申请日： | 2017-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN206673927U | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 张树民;王国浩;陈海龙 | 申请（专利权）人： | 杭州左蓝微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/05;H03H9/17;H03H9/58 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种薄膜体声波谐振器及滤波器，所述谐振器包括带空气隙的硅基片和覆盖在所述空气隙上的压电三明治结构；所述压电三明治结构包括顶电极、压电材料和底电极，其中顶电极、压电材料、底电极依次堆叠；所述顶电极、所述压电材料、所述底电极逐一图形化，且图形化后自上而下各层面积逐层增大，使得所述底电极、所述压电材料、所述顶电极的边缘依次缩进，形成台阶状；所述压电三明治结构的其中一侧台阶状边缘均位于同侧空气隙边缘的外侧。本实用新型有效避免了由于边缘突兀导致的压电薄膜生长缺陷所导致的性能恶化，通过在三明治结构的特定区域覆盖有机薄膜，吸收有害的寄生谐振，进一步提高器件性能和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 声波 谐振器 滤波器 | ||
【主权项】：
一种薄膜体声波谐振器，其特征在于：所述谐振器包括带空气隙的硅基片和覆盖在所述空气隙上的压电三明治结构；所述压电三明治结构包括顶电极、压电材料和底电极，其中顶电极、压电材料、底电极依次堆叠；所述顶电极、所述压电材料、所述底电极在各自完整沉积后再逐一图形化，且图形化后自上而下顶电极、压电薄膜层、底电极层面积逐层增大，所述压电三明治结构的边缘呈台阶状；所述压电三明治结构的其中一侧台阶状边缘均位于同侧空气隙边缘的外侧。
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