[实用新型]一种用于衍射光栅位移测量系统的干涉测量装置

摘要

一种用于衍射光栅位移测量系统的干涉测量装置，包括差分放大电路，被放置在上层光路上的激光器、滤波镜片及第1反光棱镜，以及被放置在下层光路上第2反光棱镜、衍射光栅、第1反光镜、第2反光镜、立方体分光镜、放大透镜及光电探头阵列。上层光路的激光器射出准直单色激光束经过滤波镜片后形成单频激光束，被第1及第2反光棱镜反射后，水平输出给下层光路，其衍射光栅对垂直入射的激光束发生衍射，其+1级和－1级衍射光经第1及第2反光镜反射后，在立方体分光镜中会合并发生干涉输出，再经过放大透镜放大照射在光电探头阵列上，光电探头阵列的四象限探测器输出四路光电转换信号，经差分放大可输出两路位移信号以表示衍射光栅的线性位移量。本实用新型使衍射光栅位移测量系统干涉测量头结构紧凑，工作空间缩少。

主权项

一种用于衍射光栅位移测量系统的干涉测量装置，其特征在于，采用上、下两层光路结构以及差分放大电路(11)，在上层光路上设置有激光器(1)、滤波镜片(2)及第1反光棱镜(4)，在下层光路上设置有第2反光棱镜(5)、衍射光栅(6)、第1反光镜(3)、第2反光镜(7)、立方体分光镜(8)、放大透镜(9)及光电探头阵列(10)，所述激光器(1)射出准直单色激光束经过滤波镜片(2)后形成单频激光束，被第1反光棱镜(4)反射后传给第2反光棱镜(5)，所述第2反光棱镜(5)把接收到的激光束水平反射给衍射光栅(6)，并保持对衍射光栅表面的垂直入射，衍射光栅(6)输出的+1级衍射光和－1级衍射光经第1反光镜(3)和第2反光镜(7)反射后在立方体分光镜(8)中会合，发生干涉后输出，经过放大透镜(9)的放大照射在光电探头阵列(10)上，光电探头阵列(10)的四象限探测器A、B、C及D输出四路光电转换信号，输出给所述差分放大电路(11)处理，输出用于表示衍射光栅(6)线性位移量的两路位移信号。