[实用新型]双排式高效线性蒸发源有效
| 申请号： | 201720099147.X | 申请日： | 2017-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN206570394U | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 李本龙 | 申请（专利权）人： | 南京高光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)32231 | 代理人： | 郭云梅 |
| 地址： | 210038 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于OLED显示器件制备技术领域，具体涉及一种双排式高效线性蒸发源。其包括坩埚，所述坩埚的蒸发口处设置有蒸发过渡管，所述蒸发过渡管的进口与所述坩埚连接导通，所述蒸发过渡管设置有两个出口且两个出口分别向外侧延伸连接有蒸发分配管，两个所述蒸发分配管上分别沿管体方向设置有一排喷嘴。本实用新型在蒸镀过程中，经过两排喷嘴可实现一个坩埚同时进行两批次基板的蒸镀作业，大大提高了设备的生产能力及材料的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 双排式 高效 线性 蒸发 | ||
【主权项】：
双排式高效线性蒸发源，包括坩埚(1)，其特征在于：所述坩埚(1)的蒸发口处设置有蒸发过渡管(2)；所述蒸发过渡管(2)的进口与所述坩埚(1)连接导通，所述蒸发过渡管(2)设置有两个出口且两个出口分别向外侧延伸连接有蒸发分配管(3)；两个所述蒸发分配管(3)上分别沿管体方向设置有一排喷嘴(4)。
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