[实用新型]化学机械抛光工艺抛光垫的修整器有效
| 申请号： | 201720065844.3 | 申请日： | 2017-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN206464992U | 公开（公告）日： | 2017-09-05 |
| 发明（设计）人： | 黄荣燕 | 申请（专利权）人： | 吉姆西半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙)32104 | 代理人： | 曹祖良,屠志力 |
| 地址： | 214194 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种化学机械抛光工艺抛光垫的修整器，包括外壳和修整轮；所述修整轮通过转轴安装在外壳上，修整轮的下部突出于外壳下部开口；修整轮包括转轮和磨粒；磨粒分布于转轮的周向表面；还包括空洞或喷嘴，用于分别连接高压气管或高压水管；空洞或喷嘴设置在外壳两侧边缘，或者，在外壳的两侧外侧单独设置管路，单独设置的管路端头设有空洞或喷嘴。在修整器修整抛光垫表面，重新构成表面微孔的同时，从不同方向加入高压水枪或者高压气枪对微孔进行冲洗，可以在抛光垫表面被金刚石掀起来的同时，用水对微孔深处的有害物质进行冲洗；能够更好地对抛光垫进行修整，去除抛光垫表面有害物质。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械抛光 工艺 抛光 修整 | ||
【主权项】：
一种化学机械抛光工艺抛光垫的修整器，其特征在于，包括外壳(1)和修整轮(2)；所述修整轮(2)通过转轴(3)安装在外壳(1)上，修整轮(2)的下部突出于外壳(1)下部开口；修整轮(2)包括转轮(201)和磨粒(202)；磨粒(202)分布于转轮(201)的周向表面；还包括空洞或喷嘴(4)，用于分别连接高压气管或高压水管；空洞或喷嘴(4)设置在外壳(1)两侧边缘，或者，在外壳(1)的两侧外侧单独设置管路，单独设置的管路端头设有空洞或喷嘴(4)。
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